申请/专利权人：珠海东辉半导体装备有限公司

申请日：2023-04-28

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN116406095B

主分类号：H05K3/14

分类号：H05K3/14;H05K3/22;H05K3/24

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2023.07.25#实质审查的生效;2023.07.07#公开

摘要：本发明涉及金属线路加工及其加工方法，包括基座和画线单元，基座设置有用于移动加工件的位移单元，画线单元包括均可一次画线多条栅线的第一画线组件和第二画线组件，第一画线组件和第二画线组件均可移动地设置于基座；第一画线组件和第二画线组件均设置有用于在加工件上涂布栅线的多个喷涂针管，第一画线组件涂布的栅线垂直于第二画线组件涂布的栅线。其方法包括：对加工件进行多条栅线一次画线涂布，以及实现检测成像，采用紫外灯直接固化方式，以及在线栅线边缘修复。本发明可降低银浆浪费比例，降低制造成本。

主权项：1.一种金属线路加工设备，其特征在于，包括：基座，所述基座设置有用于移动加工件的位移单元；画线单元，所述画线单元包括均可一次画线多条栅线的第一画线组件和第二画线组件，以及能同时对喷涂针管施加控制的皮升气控泵和高压放大器；所述第一画线组件和所述第二画线组件均可移动地设置于所述基座；所述第一画线组件和所述第二画线组件均设置有用于在加工件上涂布栅线的多个所述喷涂针管，所述第一画线组件涂布的栅线垂直于所述第二画线组件涂布的栅线；其中，所述喷涂针管包括管体（100）、针尖（200）和连接组件（300），所述管体（100）套设于所述针尖（200）外；所述管体（100）的一端通过外接气管与所述皮升气控泵连接，所述管体（100）的另一端与所述连接组件（300）连接，所述连接组件（300）设置有连接通道（312），所述连接通道（312）中穿设有导电线，所述针尖（200）的尖端（210）通过所述导电线与所述高压放大器连接；所述针尖（200）的尖端（210）凸出于所述连接组件（300）背离所述管体（100）的一端；所述连接组件（300）包括固定块（310）和连接块（320），所述固定块（310）与所述管体（100）连接；所述固定块（310）设置有安装通道（311），所述安装通道（311）与所述管体（100）的内腔连通，所述安装通道（311）与所述连接通道（312）连通；所述连接块（320）穿设于所述连接通道（312）且与所述导电线抵接。

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权利要求：

百度查询： 珠海东辉半导体装备有限公司 金属线路加工设备及其加工方法

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