申请/专利权人：安泰爱科科技有限公司;安泰科技股份有限公司

申请日：2023-12-15

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117403196B

主分类号：C23C14/34

分类号：C23C14/34;C23C14/50;H01F41/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2024.02.02#实质审查的生效;2024.01.16#公开

摘要：一种磁体表面溅射成膜装置，属于永磁体溅射技术领域。包括安装在机架上的输送装置、往复传动机构以及安装架，安装架可滑动的安装在机架上，安装架间隔设置在输送装置的上侧，往复传动机构设置在输送装置与安装架之间，使安装架沿输送装置的输送方向往复运动，安装架并排设置有若干个，各安装架与输送装置之间均设置有往复传动机构。本磁体表面溅射成膜装置的往复传动机构带动安装架往复运动，进而使靶材在输送装置的输送方向上往复运动，以使靶材的边缘得到充分的使用，进而使靶材的利用率大大提高，往复传动机构设置在输送装置与安装架之间，进而使靶材往复运动的速度随磁体的输送速度同步调节，保证了对磁体的溅射效果好。

主权项：1.一种磁体表面溅射成膜装置，其特征在于：包括安装在机架（1）上的输送装置、往复传动机构以及安装架（7），安装架（7）可滑动的安装在机架（1）上，安装架（7）间隔设置在输送装置的上侧，往复传动机构设置在输送装置与安装架（7）之间，使安装架（7）沿输送装置的输送方向往复运动，安装架（7）并排设置有若干个，各安装架（7）与输送装置之间均设置有往复传动机构；往复传动机构设置在输送装置与安装架（7）之间，进而使靶材往复运动的速度随磁体的输送速度同步调节；输送装置为输送皮带（2），机架（1）的左右两侧均可转动安装有输送辊，输送皮带（2）的两端均与输送辊连接，机架（1）上安装有输送电机，输送电机的输出轴与任意一个输送辊连接并带动其转动，进而实现了输送皮带（2）的运动，以实现了磁体的输送；机架（1）的顶部两侧均安装有轨道（6），安装架（7）的两侧分别可滑动的安装在对应侧的轨道（6）上，安装架（7）沿输送皮带（2）的输送方向间隔设置有至少两个，各安装架（7）上均安装有靶材，各安装架（7）与对应侧输送辊之间均设置有往复传动机构；所述的往复传动机构包括往复移动架（9）、安装轴（8）以及部分齿轮（10），往复移动架（9）与安装架（7）固定连接，安装轴（8）可转动的安装在机架（1）上，安装轴（8）的一端通过同步带（3）与输送装置连接，另一端安装有部分齿轮（10），往复移动架（9）内设置有凹槽（901），凹槽（901）的上部设置有上啮合齿（903），下部设置有下啮合齿（902），部分齿轮（10）设置在凹槽（901）内，部分齿轮（10）的齿交替与下啮合齿（902）和上啮合齿（903）啮合；所述的往复传动机构还包括弹性对接组件，弹性对接组件设置在凹槽（901）内，在上啮合齿（903）的两侧和下啮合齿（902）的两侧均设置有弹性对接组件；所述的弹性对接组件包括活动齿（11）、支撑弹簧（13）以及导向轴（12），导向轴（12）安装在凹槽（901）内，活动齿（11）可滑动的与导向轴（12）连接，支撑弹簧（13）与活动齿（11）连接并推动其向靠近上啮合齿（903）或下啮合齿（902）的方向运动；支撑弹簧（13）套在导向轴（12）外，支撑弹簧（13）处于压缩状态，支撑弹簧（13）位于导向块（1101）远离上啮合齿（903）或下啮合齿（902）的一侧，支撑弹簧（13）的一端支撑在导向槽（904）内壁，另一端支撑在导向块（1101）上；还包括调速机构，调速机构设置在安装轴（8）与同步带（3）之间；所述的调速机构包括转盘（14）、主动齿轮（17）、被动齿轮（16）以及被动同步带轮（5），转盘（14）可转动的套在安装轴（8）外，被动齿轮（16）安装在安装轴（8）上并与其同步转动，被动同步带轮（5）可转动的安装在转盘（14）上，且被动同步带轮（5）环绕安装轴（8）间隔设置有若干个，各被动同步带轮（5）上均同轴且固定连接有主动齿轮（17），各主动齿轮（17）均与被动齿轮（16）啮合，各被动同步带轮（5）交替与同步带（3）啮合；所述的在凹槽（901）的内壁设置有导向槽（904），在活动齿（11）上固定安装有导向块（1101），导向块（1101）可滑动的安装在导向槽（904）内，导向轴（12）也安装在导向槽（904）内，导向块（1101）与导向轴（12）可滑动的连接；所述的调速机构还包括支撑同步带轮（15），支撑同步带轮（15）可转动的安装在机架（1）上，支撑同步带轮（15）有对称设置在转盘（14）两侧的两个，且同步带（3）的两侧分别位于对应侧的支撑同步带轮（15）的外侧；所述的转盘（14）与机架（1）之间设置有锁止机构；所述的锁止机构包括安装在机架（1）上的弹性插销（18）以及设置在转盘（14）上的锁止孔（1403），锁止孔（1403）环绕转盘（14）间隔设置有若干个，弹性插销（18）上设置有插入到锁止孔（1403）内的锁止部。

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