申请/专利权人：基迈克材料科技(苏州)有限公司

申请日：2023-04-04

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN116396076B

主分类号：C04B35/495

分类号：C04B35/495;C04B35/622;C04B35/626;C04B35/64;C04B35/645;C23C14/08;C23C14/35

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2023.07.25#实质审查的生效;2023.07.07#公开

摘要：本发明公开了一种导电铌酸锂靶材的制备方法，涉及溅射靶材领域，旨在提供一种铌酸锂靶材，其技术方案要点是：S1：配置C粉、Nb2O5粉末、Li2CO3粉末；S2：将粉末称重后加入到去离子水中形成浆液，进行砂磨破碎，离心喷雾造粒；S3：进行预烧结；S4：将预烧后的还原粉末与Li2CO3粉末称重后加入到去离子水中形成浆液，进行砂磨破碎，进行离心喷雾造粒；S5：对造粒后的粉末再次进行预烧结，得到还原粉末；S6：破碎后筛分；S7：预压，进行烧结；S8：真空退火；S9：退火完成后进行机加工完成产品所需要求。本发明的一种导电铌酸锂靶材的制备方法可制备出高致密度、高纯度、细晶、近化学计量比的铌酸锂导电靶材。

主权项：1.一种导电铌酸锂靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：按照化学计量比配置C粉、Nb2O5粉末、Li2CO3粉末；S2：将质量分数0.1%-0.4%的C粉及Nb2O5粉末称重后加入到去离子水中形成浆液，所述浆液固含量10%-40%；然后加入到砂磨机中进行砂磨破碎，砂磨结束后所得粉体细度0.3-0.5μm；对砂磨后的浆液进行离心喷雾造粒；S3：对造粒后的粉末进行预烧结，使其原位反应得到还原粉末；S4：将预烧后的还原粉末与计量比的Li2CO3粉末称重后加入到去离子水中形成浆液，所述浆液固含量10%-40%，然后加入到砂磨机中进行砂磨破碎，砂磨结束后所得粉体细度0.3-0.5μm；对砂磨后的浆液进行离心喷雾造粒；S5：对造粒后的粉末再次进行预烧结，使其原位反应得到最终预烧结的还原粉末；S6：将最终预烧结的还原粉末经过破碎后筛分得到10-25μm的预烧粉末；S7：将预烧粉末按照产品尺寸计算出所需重量后装入热压石墨模具中，将石墨模具置于真空热压炉的压头正下方，对模具进行预压，然后设定烧结参数进行烧结；S8：将烧结后的毛坯靶放入真空退火炉中进行真空退火；S9：退火完成后进行机加工完成产品所需要求；其中，在S3步骤中，还原温度为900℃-1200℃，烧结气氛为真空或Ar气；在S5步骤中，还原温度为500℃-700℃、烧结气氛为真空或Ar气；在S7步骤中，烧结过程包括：将炉体抽真空至100Pa以下，先以5-10℃min升温至200-300℃并保温1-4h；然后以3-8℃min升温至500-750℃，保温0.5-4h，再以3-5℃min升温速率升至800℃-1000℃；然后按照升温速率计算升至高温的时间，以0.5-4MPamin升压至15-40MPa,使高温和高压同时达到；保温结束后，关闭加热，压力按照1-5MPamin的速度进行撤压至0MPa；待温度降至室温后将模具取出进行脱模操作。

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权利要求：

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