申请/专利权人：苏州思萃热控材料科技有限公司

申请日：2022-10-24

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN115572953B

主分类号：C23C14/35

分类号：C23C14/35;C23C14/50

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2023.01.24#实质审查的生效;2023.01.06#公开

摘要：本发明涉及磁控溅射镀膜设备相关领域，具体是涉及金刚石金属基高导热复合材料磁控溅射装置，包括磁控溅射镀膜机、磁控溅射靶和靶材，还包括水平圆台、主动竖轴、十字横板，每个十字横板上均设有四个滑台、从动竖轴以及水平载具，水平圆台顶部成型有不规则滑槽。本发明能够防止部分始终位于磁感线强度较弱位置的工件镀膜程度无法充分镀膜，本发明中的磁控溅射靶上设置多个靶材，并通过横轴轴接设置于磁控溅射镀膜机内，从而根据工件镀膜程度适当旋转，使得不同靶材先后正对工件进行镀膜，进而对工件进行多层镀膜操作。

主权项：1.金刚石金属基高导热复合材料磁控溅射装置，包括磁控溅射镀膜机（1）和磁控溅射靶（3），其特征在于，所述磁控溅射靶（3）能够旋转的设置于磁控溅射镀膜机（1）内，且磁控溅射靶（3）上设置有若干个沿圆周方向均匀分布的靶材（4），所述磁控溅射镀膜机（1）内还固定设置有位于磁控溅射靶（3）正下方的水平圆台（5），且水平圆台（5）上同轴轴接设置有能够旋转的主动竖轴（6），主动竖轴（6）上固连有呈水平状态的十字横板（7），十字横板（7）上滑动设置有四个关于主动竖轴（6）轴线等角度分布的滑台（8），每个滑台（8）均与十字横板（7）弹性相连并弹性远离主动竖轴（6），每个所述滑台（8）上均轴接有从动竖轴（9），且每个从动竖轴（9）顶部均固连有用于放置若干个工件（10）的水平载具（11），水平圆台（5）顶部成型有不规则滑槽（12），且若干个从动竖轴（9）的下端滑动设置于不规则滑槽（12）内，所述不规则滑槽（12）用于在十字横板（7）旋转后，带动若干根从动竖轴（9）旋转并使得若干个滑台（8）沿水平圆台（5）径向移动；所述十字横板（7）呈十字型结构，十字横板（7）上成型有四个沿圆周方向均匀分布且一一对应于四个滑台（8）的水平滑槽，每个所述滑台（8）均滑动设置于对应水平滑槽内，每个水平滑槽远离主动竖轴（6）的一端均固连有用于防止对应滑台（8）脱出的末端挡板（13），每个所述滑台（8）均与水平滑槽靠近主动竖轴（6）的一端弹性相连，每个所述从动竖轴（9）的下端均同轴固连有与不规则滑槽（12）滚动配合的滑轮（14），且从动竖轴（9）的底部与水平圆台（5）滑动配合；每个所述水平滑槽靠近主动竖轴（6）的一端均固连有外圆筒（15），每个所述滑台（8）靠近主动竖轴（6）的一端均固连有同轴滑动设置于对应外圆筒（15）内的内圆柱（16），且内圆柱（16）内设置有用于保持滑台（8）远离主动竖轴（6）的第一弹簧（17），第一弹簧（17）的两端分别抵触外圆筒（15）和内圆柱（16）。

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权利要求：

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