申请/专利权人：罗博特科智能科技股份有限公司

申请日：2018-05-14

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN108389817B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L31/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2018.09.04#实质审查的生效;2018.08.10#公开

摘要：本申请提供了一种硅片整片机构，包括用于从下侧将硅片托起的顶升机构、分别从两侧夹紧所述的硅片的第一夹紧组件和第二夹紧组件，所述的顶升机构包括一组有多个顶齿组成的顶齿组，相邻的两个顶齿之间形成开口向上的用于放置硅片的间隙，所述的第一夹紧组件包括由多个第一侧齿组成的第一侧齿组，相邻的两个第一侧齿之间形成用于卡设所述的硅片的间隙，所述的第二夹紧组件包括由多个第二侧齿组成的第二侧齿组，相邻的两个第二侧齿之间形成用于卡设所述的硅片的间隙。本申请的一种硅片整片机构，具有顶升组件、第一夹紧组件和第二夹紧组件，首先，顶升组件将硅片顶升，位于左右两侧的第一夹紧组件和第二夹紧组件从两侧将硅片加紧，使硅片完成整片。

主权项：1.一种硅片整片机构，其特征在于，所述的整片机构包括用于从下侧将硅片托起的顶升机构、分别从两侧夹紧所述的硅片的第一夹紧组件和第二夹紧组件，所述的顶升机构包括一组有多个顶齿组成的顶齿组，相邻的两个顶齿之间形成开口向上的用于放置硅片的间隙，所述的第一夹紧组件包括由多个第一侧齿组成的第一侧齿组，相邻的两个第一侧齿之间形成用于卡设所述的硅片的间隙，所述的第二夹紧组件包括由多个第二侧齿组成的第二侧齿组，相邻的两个第二侧齿之间形成用于卡设所述的硅片的间隙；所述的顶升机构包括顶升机架、设置在顶升机架上的能够沿所述的顶升机架上下移动的顶齿安装架、用于驱动所述的顶齿安装架上下移动的顶升驱动机构，所述的顶升驱动机构为丝杆螺母机构；所述的第一夹紧组件还包括用于安装所述的第一侧齿组的第一侧齿安装板、固定在所述的第一侧齿安装板下侧的第一侧齿安装架，所述的第一侧齿安装架可左右移动的设置在一第一移动架上，所述的第一移动架上安装有用于驱动所述的第一侧齿安装架左右移动的第一侧齿驱动汽缸。

全文数据：一种硅片整片机构技术领域[0001]本申请涉及一种硅片整片机构。背景技术[0002]桂片是太阳能电池片的载体，硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池片转换效率的高低，太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换，而扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备。管式扩散炉主要由石英舟的上下载部分、废气室、炉体部分和气柜部分等四大部分组成。扩散一般用三氯氧磷液态源作为扩散源。把P型硅片放在管式扩散炉的石英容器^，在850---900摄氏度高温下使用氮气将三氯氧磷带入石英容器，通过三氯氧磷和硅片进行反应，得到磷原子。经过一定时间，磷原子从四周进入硅片的表面层，并且通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散，形成了N型半导体和p型半导体的交界面，也就是PN结。在桂片的加工过程中，需要将桂片从一个工位转移至另一个工位，在此过程中需要将整片。发明内容[0003]本申请要解决的技术问题是提供一种硅片整片机构。[0004]为了解决上述技术问题，本申请提供了一种硅片整片机构，所述的整片机构包括用于从下侧将硅片托起的顶升机构、分别从两侧夹紧所述的硅片的第一夹紧组件和第二夹紧组件，所述的顶升机构包括一组有多个顶齿组成的顶齿组，相邻的两个顶齿之间形成开口向上的用于放置硅片的间隙，所述的第一夹紧组件包括由多个第一侧齿组成的第一侧齿组，相邻的两个第一侧齿之间形成用于卡设所述的硅片的间隙，所述的第二夹紧组件包括由多个第二侧齿组成的第二侧齿组，相邻的两个第二侧齿之间形成用于卡设所述的硅片的间隙。[0005]优选地，所述的顶升机构包括顶升机架、设置在顶升机架上的能够沿所述的顶升机架上下移动的顶齿安装架、用于驱动所述的顶齿安装架上下移动的顶升驱动机构，所述的顶升驱动机构为丝杆螺母机构。[0006]优选地，所述的第一夹紧组件还包括用于安装所述的第一侧齿组的第一侧齿安装板、固定在所述的第一侧齿安装板下侧的第一侧齿安装架，所述的第一侧齿安装架可左右移动的设置在一第一移动架上，所述的第一移动架上安装有用于驱动所述的第一侧齿安装架左右移动的第一侧齿驱动汽缸。[0007]优选地，所述的第一夹紧组件还包括第一支架，所述的第一移动支架可左右移动的设置在所述的第一支架上，所述的第一支架上还安装有一用于驱动所述的第一移动支架左右移动的第一移动架驱动汽缸。[0008]优选地，所述的第一夹紧组件还包括设置在所述的第一侧齿安装板上的第一调整杆，所述的第一调整杆上设置有多个沿左右方向延伸设置的第一腰形孔，所述的第一调整杆通过所述的第一腰形孔可左右移动的安装在所述的第一侧齿安装板上。[0009]优选地，所述的第二夹紧组件还包括用于安装所述的第二侧齿组的第二侧齿安装板、固定在所述的第二侧齿安装板下侧的第二侧齿安装架，所述的第二侧齿安装架可左右移动的设置在一第二移动架上，所述的第二移动架上安装有用于驱动所述的第二侧齿安装架左右移动的第二侧齿驱动汽缸。[0010]优选地，所述的第二夹紧组件还包括第二支架，所述的第二移动支架可左右移动的设置在所述的第二支架上，所述的第二支架上还安装有一用于驱动所述的第二移动支架左右移动的第二移动架驱动汽缸。[0011]优选地，所述的第二夹紧组件还包括设置在所述的第二侧齿安装板上的第二调整杆，所述的第二调整杆上设置有多个沿左右方向延伸设置的第二腰形孔，所述的第二调整杆通过所述的第二腰形孔可左右移动的安装在所述的第二侧齿安装板上。[0012]优选地，所述的相邻的第一侧齿之间形成的间隙和相邻的第二侧齿之间形成的间隙，所述的间隙包括相互连通的楔形部和平直部，所述的楔形部的宽度从开口处向内逐渐减小，所述的平直部的宽度与所述的楔形部的最小宽度一致。[0013]本申请的一种硅片整片机构，具有顶升组件、第一夹紧组件和第二夹紧组件，首先，顶升组件将硅片顶升，位于左右两侧的第一夹紧组件和第二夹紧组件从两侧将硅片加紧，使娃片完成整片。附图说明[0014]图1是本申请所述的一种硅片整片机构的结构示意图；[0015]图2是本申请所述的一种硅片整片机构的结构示意图；[0016]图3是图1中A部分的放大结构示意图，[0017]其中：1、第一夹紧组件；11、第一侧齿组；12、第一调整杆;121、第一腰形孔；13、第一侧齿安装板;14、第一侧齿安装架;15、第一侧齿驱动汽缸;16、第一移动架；17、第一支架；18、第一移动架驱动汽缸;111、楔形部；112、平直部;2、第二夹紧组件;21、第二侧齿组;22、第二调整杆;221、第二腰形孔;23、第二侧齿安装板;24、第二侧齿安装架;25、第二侧齿驱动汽缸;26、第二移动架;27、第二支架;28、第二移动架驱动汽缸;3、顶升机构;31、顶升驱动机构;32、顶升机架;33、顶齿。具体实施方式[0018]下面结合附图和具体实施例对本申请作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本申请并能予以实施，但所举实施例不作为对本申请的限定。[0019]如图1和2所示，本申请提供了一种硅片整片机构，所述的整片机构包括用于从下侧将硅片托起的顶升机构3、分别从两侧夹紧所述的硅片的第一夹紧组件1和第二夹紧组件2,所述的顶升机构3包括一组有多个顶齿33组成的顶齿组，相邻的两个顶齿33之间形成开口向上的用于放置硅片的间隙，所述的第一夹紧组件1包括由多个第一侧齿组11成的第一侧齿组11，相邻的两个第一侧齿之间形成用于卡设所述的硅片的间隙，所述的第二夹紧组件2包括由多个第二侧齿组21成的第二侧齿组21，相邻的两个第二侧齿之间形成用于卡设所述的硅片的间隙。[0020]所述的顶升机构3包括顶升机架32、设置在顶升机架32上的能够沿所述的顶升机架32上下移动的顶齿安装架、用于驱动所述的顶齿安装架上下移动的顶升驱动机构31，所述的顶升驱动机构31为丝杆螺母机构。[0021]所述的第一夹紧组件1还包括用于安装所述的第一侧齿组11的第一侧齿安装板13、固定在所述的第一侧齿安装板13下侧的第一侧齿安装架14,所述的第一侧齿安装架14可左右移动的设置在一第一移动架16上，所述的第一移动架16上安装有用于驱动所述的第一侧齿安装架14左右移动的第一侧齿驱动汽缸15。所述的第一夹紧组件1还包括第一支架17,所述的第一移动支架可左右移动的设置在所述的第一支架17上，所述的第一支架17上还安装有一用于驱动所述的第一移动支架左右移动的第一移动架驱动汽缸18。所述的第一夹紧组件1还包括设置在所述的第一侧齿安装板13上的第一调整杆12,所述的第一调整杆12上设置有多个沿左右方向延伸设置的第一腰形孔121，所述的第一调整杆12通过所述的第一腰形孔121可左右移动的安装在所述的第一侧齿安装板13上。[0022]所述的第二夹紧组件2还包括用于安装所述的第二侧齿组21的第二侧齿安装板23、固定在所述的第二侧齿安装板23下侧的第二侧齿安装架24,所述的第二侧齿安装架24可左右移动的设置在一第二移动架26上，所述的第二移动架26上安装有用于驱动所述的第二侧齿安装架24左右移动的第二侧齿驱动汽缸25。所述的第二夹紧组件2还包括第二支架27,所述的第二移动支架可左右移动的设置在所述的第二支架27上，所述的第二支架27上还安装有一用于驱动所述的第二移动支架左右移动的第二移动架驱动汽缸28。所述的第二夹紧组件2还包括设置在所述的第二侧齿安装板23上的第二调整杆22,所述的第二调整杆22上设置有多个沿左右方向延伸设置的第二腰形孔221，所述的第二调整杆22通过所述的第二腰形孔221可左右移动的安装在所述的第二侧齿安装板23上。[0023]如图3所示，所述的相邻的第一侧齿之间形成的间隙和相邻的第二侧齿之间形成的间隙，所述的间隙包括相互连通的楔形部111和平直部112,所述的楔形部111的宽度从开口处向内逐渐减小，所述的平直部112的宽度与所述的楔形部111的最小宽度一致。[0024]以第一夹紧组件1为例，在夹紧的过程中，第一移动家驱动汽缸驱动第一移动架16移动，完成第一次侧面夹紧，此时，硅片的侧面位于楔形部111内；然后第一侧齿驱动汽缸15驱动第一侧齿安装架14,完成第二次侧面夹紧，此时，硅片的侧面位于平直部112内，最后，在左右方向调整第一调整杆12,使硅片的侧面位于同一平面上。第二夹紧组件2的操作步骤与第一夹紧组件1相同。[0025]本申请的一种硅片整片机构，具有顶升组件、第一夹紧组件1和第二夹紧组件2，首先，顶升组件将硅片顶升，位于左右两侧的第一夹紧组件1和第二夹紧组件2从两侧将硅片加紧，使硅片完成整片。本申请所述的左右方向是指如图2所示的左右方向。[0026]以上所述实施例仅是为充分说明本申请而所举的较佳的实施例，本申请的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本申请基础上所作的等同替代或变换，均在本申请的保护范围之内。本申请的保护范围以权利要求书为准。

权利要求：1.一种硅片整片机构，其特征在于，所述的整片机构包括用于从下侧将硅片托起的顶升机构、分别从两侧夹紧所述的硅片的第一夹紧组件和第二夹紧组件，所述的顶升机构包括一组有多个顶齿组成的顶齿组，相邻的两个顶齿之间形成开口向上的用于放置硅片的间隙，所述的第一夹紧组件包括由多个第一侧齿组成的第一侧齿组，相邻的两个第一侧齿之间形成用于卡设所述的硅片的间隙，所述的第二夹紧组件包括由多个第二侧齿组成的第二侧齿组，相邻的两个第二侧齿之间形成用于卡设所述的硅片的间隙。2.如权利要求1所述的硅片整片机构，其特征在于，所述的顶升机构包括顶升机架、设置在顶升机架上的能够沿所述的顶升机架上下移动的顶齿安装架、用于驱动所述的顶齿安装架上下移动的顶升驱动机构，所述的顶升驱动机构为丝杆螺母机构。3.如权利要求1所述的硅片整片机构，其特征在于，所述的第一夹紧组件还包括用于安装所述的第一侧齿组的第一侧齿安装板、固定在所述的第一侧齿安装板下侧的第一侧齿安装架，所述的第一侧齿安装架可左右移动的设置在一第一移动架上，所述的第一移动架上安装有用于驱动所述的第一侧齿安装架左右移动的第一侧齿驱动汽缸。4.如权利要求3所述的硅片整片机构，其特征在于，所述的第一夹紧组件还包括第一支架，所述的第一移动支架可左右移动的设置在所述的第一支架上，所述的第一支架上还安装有一用于驱动所述的第一移动支架左右移动的第一移动架驱动汽缸。5.如权利要求4所述的硅片整片机构，其特征在于，所述的第一夹紧组件还包括设置在所述的第一侧齿安装板上的第一调整杆，所述的第一调整杆上设置有多个沿左右方向延伸设置的第一腰形孔，所述的第一调整杆通过所述的第一腰形孔可左右移动的安装在所述的第一侧齿安装板上。6.如权利要求5所述的硅片整片机构，其特征在于，所述的第二夹紧组件还包括用于安装所述的第二侧齿组的第二侧齿安装板、固定在所述的第二侧齿安装板下侧的第二侧齿安装架，所述的第二侧齿安装架可左右移动的设置在一第二移动架上，所述的第二移动架上安装有用于驱动所述的第二侧齿安装架左右移动的第二侧齿驱动汽缸。7.如权利要求6所述的硅片整片机构，其特征在于，所述的第二夹紧组件还包括第二支架，所述的第二移动支架可左右移动的设置在所述的第二支架上，所述的第二支架上还安装有一用于驱动所述的第二移动支架左右移动的第二移动架驱动汽缸。8.如权利要求7所述的硅片整片机构，其特征在于，所述的第二夹紧组件还包括设置在所述的第二侧齿安装板上的第二调整杆，所述的第二调整杆上设置有多个沿左右方向延伸设置的第二腰形孔，所述的第二调整杆通过所述的第二腰形孔可左右移动的安装在所述的第二侧齿安装板上。9.如权利要求8所述的硅片整片机构，其特征在于，所述的相邻的第一侧齿之间形成的间隙和相邻的第二侧齿之间形成的间隙，所述的间隙包括相互连通的楔形部和平直部，所述的楔形部的宽度从开口处向内逐渐减小，所述的平直部的宽度与所述的楔形部的最小宽度一致。

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