申请/专利权人：海目星激光科技集团股份有限公司

申请日：2023-08-10

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN220627825U

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;H01L21/677;H01L21/67;H01L21/683

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权

摘要：本实用新型公开了一种整片硅片加工传输线，包括并排设置的上料传输线、下料传输线以及转运机构，所述转运机构包括真空吸盘、支架和驱动组件，所述驱动组件用于驱动支架转动，所述支架上设置有两块安装板，当其中一块安装板位于激光加工工位时，另一块安装板位于上料传输线的出料端或下料传输线的进料端的正上方，每块所述安装板的底部均固定安装有多个所述真空吸盘。本实用新型通过转运机构中的多个吸盘能够同时进行多张硅片的上下料，提高了生产效率。

主权项：1.一种整片硅片加工传输线，包括并排设置的上料传输线、下料传输线以及转运机构，其特征在于：所述转运机构包括真空吸盘、支架和驱动组件，所述驱动组件用于驱动支架转动，所述支架上设置有两块安装板，当其中一块安装板位于激光加工工位时，另一块安装板位于上料传输线的出料端或下料传输线的进料端的正上方，每块所述安装板的底部均固定安装有多个所述真空吸盘。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 海目星激光科技集团股份有限公司 一种整片硅片加工传输线

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