申请/专利权人：江苏启威星装备科技有限公司

申请日：2023-09-06

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220793599U

主分类号：F26B9/06

分类号：F26B9/06;F26B21/02;F26B25/10;F26B25/18;H01L31/18;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型公开了一种多风道硅片烘干装置，包括壳体组件、加热组件及至少两个风机组件，壳体组件设有容纳槽和至少两个风道，容纳槽用于容置载有硅片的载具，至少两个风道分隔设置，容纳槽具有进风孔和出风孔，加热组件设于容纳槽内，至少两个风机组件与风道一一对应，风机组件容置在对应的风道内，在风机组件的作用下，风道内的空气从风机组件的出风孔流向进风孔，并被吹至容纳槽内对载具进行烘干后再次流向风机组件以形成循环，如此，通过将至少两个风道分隔设置，使得至少两个风机组件产生的风不互相干扰，能够降低热风的风阻，以提高热风的风速，从而提高本装置的烘干效率。

主权项：1.一种多风道硅片烘干装置，其特征在于，包括：壳体组件100，设有容纳槽110和至少两个风道120，所述容纳槽110用于容置载有硅片810的载具800，至少两个所述风道120分隔设置，所述容纳槽110具有进风孔111和出风孔112；加热组件200，设于所述容纳槽110和或所述风道120内；至少两个风机组件300，与所述风道120一一对应，所述风机组件300容置在对应的所述风道120内，在所述风机组件300的作用下，所述风道120内的空气从所述风机组件300的出风孔112流向进风孔111，并被吹至所述容纳槽110内对载具800进行烘干后再次流向所述风机组件300以形成循环。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏启威星装备科技有限公司 多风道硅片烘干装置

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