申请/专利权人：山东瑞翼德科技股份有限公司

申请日：2024-03-14

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117884413A

主分类号：B08B3/02

分类号：B08B3/02;B08B3/12;B08B3/14;F26B21/00;H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.16#公开

摘要：本发明公开了一种硅片清洗机台，属于硅片加工技术领域，包括清洗箱，所述清洗箱的底部设置有排水管，清洗箱的内部设置有储料机构，储料机构包括用于对硅片起到支撑作用的储料组件以及用于对储料组件起到支撑作用和干燥作用的支撑组件，储料组件可拆卸设置在支撑组件的顶部，清洗箱的侧壁上设置有用于对储料机构起到高度调节作用的高度调节件，高度调节件的顶部设置有与支撑组件相对应的限位传动板；通过多结构的相互配合对硅片进行超声波清洗，并且在清洗过程中控制硅片进行竖向往复移动，实现对硅片的多重清洗，显著提升对硅片的清洗效果，清洗完毕后，通过多结构的相互配合对硅片进行二次冲洗，避免硅片上残留有杂物。

主权项：1.一种硅片清洗机台，包括清洗箱，其特征在于：所述清洗箱的底部设置有排水管，清洗箱的内部设置有储料机构，储料机构包括用于对硅片起到支撑作用的储料组件以及用于对储料组件起到支撑作用和干燥作用的支撑组件，储料组件可拆卸设置在支撑组件的顶部，清洗箱的侧壁上设置有用于对储料机构起到高度调节作用的高度调节件，高度调节件的顶部设置有与支撑组件相对应的限位传动板，清洗箱的顶部开设有与限位传动板相对应的限位通孔，储料机构的下方设置有用于对清洗箱的底部起到封堵作用的清洗机构。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 山东瑞翼德科技股份有限公司 一种硅片清洗机台

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