申请/专利权人：南京京胜科技有限公司

申请日：2023-09-06

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220796775U

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型涉及硅片规整技术领域，公开了一种硅片规整装置，包括多个凹形板，每个凹形板相互连接，每个凹形板后侧固定安装有L形板，L形板靠近凹形板的一侧设置有电动推杆，电动推杆另一端固定连接有移动板。本实用新型，启动电动推杆，电动推杆能够推动移动板进行移动，移动板能够带动传动机构进行移动旋转，传动机构旋转的时候将能够带动第一滑动机构中的第一滑块和第二滑块分别在第一螺纹丝杆和第二螺纹丝杆的辅助下能够相互靠近，在活动杆的带动下能够分别推动软板在第二滑动机构的辅助下相互靠近对硅片进行挤压，对硅片进行限位，硅片在放置的时候不会出现倾斜的情况，让两个硅片相互靠近，导致在后续工作夹持的时候出现多夹或漏夹的过程。

主权项：1.一种硅片规整装置，包括多个凹形板1，其特征在于，每个所述凹形板1相互连接，每个所述凹形板1后侧固定安装有L形板2，所述L形板2靠近凹形板1的一侧设置有电动推杆3，所述电动推杆3另一端固定连接有移动板4，所述移动板4远离L形板2的一端设置有传动机构，所述凹形板1内腔相对的两侧壁分别设置有第一滑动机构和第二滑动机构，所述第二滑动机构上设置有软板5，两个所述软板5相互对称；所述传动机构用于驱动第一滑动机构进行移动，所述第一滑动机构用于驱动第二滑动机构进行移动，所述第二滑动机构用于驱动软板5产生形变对硅片进行规整。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京京胜科技有限公司 一种硅片规整装置

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