申请/专利权人：浙江鸿禧能源股份有限公司

申请日：2023-09-05

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220796679U

主分类号：H01L21/673

分类号：H01L21/673;H01L31/18;C30B33/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型公开了一种新型硅片石英舟，包括有左侧板、右侧板、连接杆、支撑杆和侧护杆，左侧板的四角分别通过连接杆连接右侧板的四角，支撑杆的一端连接左侧板的下端中部，另一端连接右侧板的下端中部，两根侧护杆分别位于支撑杆两侧，左侧板上和右侧板上均安装有两个调节结构，调节结构包括有螺杆轴、摆臂。本实用新型的新型硅片石英舟，可以根据需要进行拆解组装，更换破损部件，节约成本。可以改变大小，适应不同硅片型号，不同硅片数量的使用要求。通过使用废旧的硅片作为插挡片使用，使得石英舟上多有硅片间距一致，提高氧化的均一性。

主权项：1.一种新型硅片石英舟，其特征在于，包括有左侧板、右侧板、连接杆、支撑杆和侧护杆，左侧板和右侧板竖直平行设置，所述左侧板的四角分别通过连接杆连接右侧板的四角，所述支撑杆的一端连接左侧板的下端中部，另一端连接右侧板的下端中部，所述侧护杆的数量为两根，两根侧护杆分别位于支撑杆两侧，侧护杆的高度高于支撑杆的高度，所述左侧板上和右侧板上均安装有两个调节结构，所述调节结构包括有螺杆轴、摆臂，所述螺杆轴可转动的安装在左侧板上或右侧板上，摆臂的一端固定连接螺杆轴，另一端垂直折弯后形成夹杆，夹杆的端部设有夹槽，所述侧护杆的一端插入左侧板上调节结构中的夹槽中，另一端插入右侧板上调节结构中的夹槽中，所述螺杆轴上螺纹连接有两个螺帽，两个螺帽分别位于左侧板的两侧或者右侧板的两侧。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江鸿禧能源股份有限公司 一种新型硅片石英舟

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