申请/专利权人：苏州拓升智能装备有限公司

申请日：2019-09-20

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN110565075B

主分类号：C23C16/50

分类号：C23C16/50;H01L21/673

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权;2020.07.24#著录事项变更;2020.01.07#实质审查的生效;2019.12.13#公开

摘要：本发明公开了一种用于管式PECVD设备的石墨舟电极对接装置，包括：长直状的电极杆，其由刚性导电材料制成；以及分别连接于所述电极杆两端的接电固定组件及电极头，其中，所述接电固定组件由刚性绝缘材料制成，所述接电固定组件安装于炉盖的外侧，从所述接电固定组件引出的电极杆穿过所述炉盖后沿着所述真空反应炉的轴线方向延伸至所述真空反应炉的内部。根据本发明，其相比原有的通过石墨舟角与陶瓷支撑杆上电极转接组件接触方式，可避免多个工艺周期后镀膜绝缘膜沉积于石墨舟角、电极转接组件接触区导致电极接触不良问题。

主权项：1.一种用于管式PECVD设备的石墨舟电极对接装置，所述管式PECVD设备包括：管状的真空反应炉2，其内部中空并且两端敞开形成左敞口及右敞口；两个炉盖1，分别连接到所述真空反应炉2的端部以对所述左敞口及右敞口进行封闭；以及绝缘支撑架6，其固定安装于所述真空反应炉2内，用于承托石墨舟7，其特征在于，所述石墨舟电极对接装置包括：长直状的电极杆3，其由310S号不锈钢材料制成；以及分别连接于所述电极杆3两端的接电固定组件5及电极头4，其中，所述接电固定组件5由刚性绝缘材料制成，所述接电固定组件5安装于炉盖1的外侧，从所述接电固定组件5引出的电极杆3穿过所述炉盖1后沿着所述真空反应炉2的轴线方向延伸至所述真空反应炉2的内部；所述接电固定组件5包括：一端固定安装于所述炉盖1外侧的电极连接管51，其内部中空以形成在轴线方向上贯穿所述电极连接管51的连接通孔511；与所述电极连接管51的另一端同轴固接的电极安装管52，其内部中空以形成在轴线方向上贯穿所述电极安装管52的安装通孔521，其中，所述安装通孔521与所述连接通孔511在轴向上相连通，所述安装通孔521中嵌设有由绝缘材料制成的绝缘安装套53，该绝缘安装套53从所述电极安装管52的端面出发延伸至连接通孔511中，电极杆3的端部插接入绝缘安装套53中并且从所述安装通孔521中露出形成接线端子，从所述绝缘安装套53引出的电极杆3经所述连接通孔511穿过所述炉盖1后沿着所述真空反应炉2的轴线方向延伸至所述真空反应炉2的内部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州拓升智能装备有限公司 一种用于管式PECVD设备的石墨舟电极对接装置

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