申请/专利权人：天津爱旭太阳能科技有限公司;浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司

申请日：2021-04-06

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN115181956B

主分类号：C23C16/02

分类号：C23C16/02;C23C16/26;C23C16/32;C23C16/458;C23C16/50;H01L21/673;H01L31/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2022.11.01#实质审查的生效;2022.10.14#公开

摘要：本发明适用于石墨舟技术领域，提供了一种石墨舟的修复方法和石墨舟。石墨舟的修复方法包括：清洗石墨舟以去除附着于石墨舟的待除膜层；对石墨舟的表面坑洞进行修复。如此，可以实现修复受损的石墨舟，延长石墨舟的使用寿命，有利于降低太阳能电池的制造成本。

主权项：1.一种石墨舟的修复方法，其特征在于，包括：清洗石墨舟以去除附着于所述石墨舟的待除膜层；所述待除膜层包括氮化硅和氧化硅；对所述石墨舟的表面坑洞进行修复；所述清洗石墨舟以去除附着于所述石墨舟的待除膜层的步骤，依次包括：利用第一浓度的酸液清洗所述石墨舟；所述第一浓度为体积比浓度，范围为16%-18%，浸泡4h-12h；利用第二浓度的酸液清洗所述石墨舟，所述第二浓度小于所述第一浓度；所述第二浓度为体积比浓度，范围为4%-6%，浸泡2h-6h；所述酸液包括氢氟酸；利用碱液清洗所述石墨舟；利用纯水清洗所述石墨舟。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 天津爱旭太阳能科技有限公司;浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司 石墨舟的修复方法和石墨舟

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