申请/专利权人：苏州拓升智能装备有限公司

申请日：2019-09-19

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN110777364B

主分类号：C23C16/458

分类号：C23C16/458;C23C16/513;H01L31/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权;2020.03.06#实质审查的生效;2020.02.11#公开

摘要：本发明公开了一种石墨舟的缓存导正装置及管式PECVD设备，该石墨舟的缓存导正装置包括：底座，其将各个组件固定；至少两组校正机构，其调整石墨舟的位置；以及感应组件，其包括触发组件和响应组件；其中，两两所述校正机构对称设置于所述底座的两侧，所述感应组件固定于所述底座的一侧且位于两两所述校正机构之间。本案的石墨舟的缓存导正装置有效防止石墨舟由缓存架上反复取放的过程中，对石墨舟造成划伤破损，导致石墨舟定位偏差加大、石墨舟掉落、石墨舟维护成本升高等问题的出现。

主权项：1.一种石墨舟的缓存导正装置，所述石墨舟具有位于其基准平面上的X轴与Y轴以及垂直于所述基准平面的Z轴，所述石墨舟沿着X轴方向延伸并且在其底部固接有在X轴方向上对称设置的定位导向组件，其特征在于，所述缓存导正装置包括：底座（340），其位于所述石墨舟的正下方；两组校正机构（310），在所述石墨舟的下落缓存过程中，每一组所述校正机构（310）与相应一组所述定位导向组件相配合；以及感应组件（350），其包括触发组件（330）和响应组件（320）；其中，两组所述校正机构（310）在X轴方向上对称设置于所述底座（340）的两侧，以使得每一组所述校正机构（310）位于相应一组所述定位导向组件的正下方，所述感应组件（350）固定于所述底座（340）的一侧且位于两组所述校正机构（310）之间；所述触发组件（330）包括：感应触碰块（331），其设置于所述触发组件（330）的上端；至少两个导向杆（332），其包括压块浮动导向轴（3322）和压块浮动弹簧（3321）；感应压块（333），其固定连接所述导向杆（332）；其中，所述感应触碰块（331）、所述导向杆（332）和所述感应压块（333）依次连接，且贯穿于连接板（334）；所述响应组件（320）包括：微动开关固定板（321），其将所述响应组件（320）固定于所述底座（340）上；以及感应微动开关（322）；所述校正机构（310）包括：滚轮导正组件（312），其调整所述石墨舟长边方向上的偏差；仿形定位组件（311），其位于所述滚轮导正组件（312）在X轴方向上的旁侧，并且所述仿形定位组件（311）的结构及尺寸与所述石墨舟的定位导向组件的形状相匹配；所述滚轮导正组件（312）包括：内部支撑轴（3122），其将所述滚轮导正组件（312）固定于所述底座（340）上；导向转动轴套（3121），其与所述底座（340）之间有间隙；轴承（3123），其位于所述内部支撑轴（3122）和所述导向转动轴套（3121）之间；其中，所述内部支撑轴（3122）、导向转动轴套（3121）和所述轴承（3123）之间同轴安装。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州拓升智能装备有限公司 一种石墨舟的缓存导正装置及管式PECVD设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD