申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司

申请日：2021-08-30

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN113707586B

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;H01L21/22

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2021.12.14#实质审查的生效;2021.11.26#公开

摘要：本申请实施例提供了一种半导体工艺设备的片舟存储装置。该片舟存储装置中，支撑结构包括两个对称设置的支撑组件，两个支撑组件用于承载片舟；两个支撑组件相对两侧的顶部位置均设置有导向结构，用于与片舟的两端配合导向，以使片舟落入两个支撑组件之间；滑动结构设置于两个支撑组件的底部，当片舟与导向结构配合导向时，两个支撑组件能通过滑动结构沿第一方向滑动，以使片舟落入两个支撑组件之间；复位结构与支撑结构连接，用于限定支撑结构在第一方向上的位置，当片舟承载于两个支撑组件之间，并且支撑结构发生滑动时，复位结构能带动支撑结构复位。本申请实施例能避免机械手与片舟发生碰撞，进而维持系统自动化运行的稳定性。

主权项：1.一种半导体工艺设备的片舟存储装置，用于在机械手搬运片舟的过程中暂存所述片舟，其特征在于，包括：支撑结构、导向结构、滑动结构及复位结构；所述支撑结构包括两个对称设置的支撑组件，两个所述支撑组件用于承载所述片舟；两个所述支撑组件相对两侧的顶部位置均设置有所述导向结构，用于与所述片舟的两端配合导向，以使所述片舟落入两个所述支撑组件之间；所述滑动结构设置于两个所述支撑组件的底部，当所述片舟与所述导向结构配合导向时，两个所述支撑组件能通过所述滑动结构沿第一方向滑动，以使所述片舟落入两个所述支撑组件之间；所述复位结构与所述支撑结构连接，用于限定所述支撑结构在所述第一方向上的位置，当所述片舟承载于两个所述支撑组件之间，并且所述支撑结构发生滑动时，所述复位结构能带动所述支撑结构复位。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 半导体工艺设备及其片舟存储装置

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