申请/专利权人：天津市晓川过滤设备发展有限公司

申请日：2023-09-12

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220796672U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;B08B1/12;B08B1/32;B08B1/40

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型涉及晶圆清洗机技术领域，公开了一种晶圆清洗机台自动化装置，包括储水箱，所述储水箱的左右两侧均固定连接有运输组件，其中一个所述运输组件的顶部固定连接有上料组件，其中一个所述运输组件的右侧固定连接有清理组件，所述运输组件的顶部固定连接有支撑板，所述支撑板的中部设置有移动组件，所述移动组件的中部滑动连接有升降组件，所述升降组件的底部固定连接有运料组件。本实用新型中，在存料盒的作用下可对晶圆进行储存，通过驱动电动推杆以及驱动多级液压缸可将存料盒内部储存的晶圆推入运输组件的顶部，同时可对存料盒进行更换，以及通过驱动电机一和电机二可使毛刷在旋转的过程中对晶圆进行清理。

主权项：1.一种晶圆清洗机台自动化装置，包括储水箱1，其特征在于：所述储水箱1的左右两侧均固定连接有运输组件4，其中一个所述运输组件4的顶部固定连接有上料组件2，其中一个所述运输组件4的右侧固定连接有清理组件3，所述运输组件4的顶部固定连接有支撑板5，所述支撑板5的中部设置有移动组件12，所述移动组件12的中部滑动连接有升降组件6，所述升降组件6的底部固定连接有运料组件7，所述储水箱1的中部固定连接有过滤网10，所述过滤网10的顶部固定连接有放料盘11，所述储水箱1的内部固定连接有水泵8，所述水泵8的输出端固定连接有出水管9，所述出水管9朝向放料盘11；所述上料组件2包括壳体201，所述壳体201固定连接在其中一个运输组件4的顶部，所述壳体201的内部固定连接有多级液压缸202，所述多级液压缸202的输出端固定连接有齿条203，所述壳体201的内部转动连接有齿轮204，所述齿条203和齿轮204相互啮合，所述齿轮204的顶部固定连接有转盘205，所述转盘205的外侧固定连接有两个连接板206，所述连接板206的顶部固定连接有存料盒207，所述转盘205的顶部固定连接有两个电动推杆208，所述电动推杆208的输出端固定连接有推板209，所述推板209滑动连接在存料盒207的中部。

全文数据：

权利要求：

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