申请/专利权人：株式会社迪思科

申请日：2023-10-12

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN117917297A

主分类号：B23K26/364

分类号：B23K26/364;B23K26/36

优先权：["20221021 JP 2022-168934"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.23#公开

摘要：本发明提供激光加工装置和激光加工方法，能够同时进行用于在被加工物上形成槽的脉冲激光光线的照射和用于抑制熔融碎屑的产生的脉冲激光光线的照射。激光加工装置的激光光线照射单元包含射出脉冲激光光线的激光振荡机构。激光振荡机构具有：组设定部，其将按照比通过向被加工物的脉冲激光光线的照射而产生熔融碎屑的时间短的时间间隔照射脉冲激光光线作为条件，设定在熔融碎屑固化的时间之前照射的脉冲激光光线的数量而作为一组；以及时间间隔设定部，其将通过一组的脉冲激光光线的照射而产生的热冷却为止的时间作为一组与相邻的一组的时间间隔，并且设定构成一组的脉冲激光光线的时间间隔，该激光振荡机构将一组作为一个单位而设定重复频率。

主权项：1.一种激光加工装置，其中，该激光加工装置具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；激光光线照射单元，其对该卡盘工作台所保持的该被加工物照射脉冲激光光线；以及进给机构，其将该卡盘工作台和该激光光线照射单元相对地进行加工进给，该激光光线照射单元包含：激光振荡机构，其射出脉冲激光光线；以及聚光器，其将该激光振荡机构所射出的脉冲激光光线会聚而照射至该卡盘工作台所保持的该被加工物，该激光振荡机构包含：组设定部，其将按照比通过向该被加工物的脉冲激光光线的照射而产生熔融碎屑的时间短的时间间隔照射脉冲激光光线作为条件，设定在该熔融碎屑固化的时间之前照射的脉冲激光光线的数量而作为一组；以及时间间隔设定部，其将通过该一组的脉冲激光光线的照射而产生的热冷却为止的时间作为该一组与相邻的该一组的时间间隔，并且设定构成该一组的脉冲激光光线的时间间隔，该激光振荡机构将该一组作为一个单位而设定重复频率。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社迪思科 激光加工装置和激光加工方法

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