申请/专利权人:上海芯之翼半导体材料有限公司
申请日:2023-09-26
公开(公告)日:2024-04-26
公开(公告)号:CN220840262U
主分类号:B25J18/00
分类号:B25J18/00;B25J19/00
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.26#授权
摘要:本实用新型涉及晶圆自动化传动领域,提供了一种传动手臂,所述传动手臂包括多个卡槽和配合所述卡槽使用的摩擦小柱;其中,所述摩擦小柱周侧向内凹陷形成环形凹陷部;所述卡槽包括相连的:第一卡槽部,所述第一卡槽部向内凸起形成环形凸起部;以及第二卡槽部,所述第二卡槽部在平面上的投影覆盖所述摩擦小柱在平面上的投影,以使得所述摩擦小柱能够从所述第二卡槽部中移动至所述第一卡槽部,并使得所述环形凸起部卡接于所述环形凸起部,本实用新型的摩擦小柱的环形凹陷部卡接于第一卡槽部内的环形凸起部,这样在具体移动晶圆的作业过程中,摩擦小柱受限于环形凹陷部卡接于环形凸起部,保证了晶圆在移动过程中的稳定。
主权项:1.一种传动手臂,其特征在于,所述传动手臂包括多个卡槽和配合所述卡槽使用的摩擦小柱;其中,所述摩擦小柱周侧向内凹陷形成环形凹陷部;所述卡槽包括相连通的:第一卡槽部,所述第一卡槽部向内凸起形成有一开口的环形凸起部;以及第二卡槽部,所述第二卡槽部在平面上的投影覆盖所述摩擦小柱在平面上的投影,以使得所述摩擦小柱能够从所述第二卡槽部中通过所述开口移动至所述第一卡槽部,并使得所述环形凸起部卡接于所述环形凸起部。
全文数据:
权利要求:
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