申请/专利权人：北京澳作生态仪器有限公司

申请日：2023-09-07

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN220855356U

主分类号：G02B27/09

分类号：G02B27/09

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权

摘要：本实用新型公开了一种可控激光光斑大小的光束整形系统，包括激光发生器与样品台，所述激光发生器与样品台之间设置有电动衰减器、电动光阑、聚焦透镜以及激光显微物镜，所述激光发生器设置激光依次透过所述衰减器、电动光阑、聚焦透镜以及激光显微物镜并设在所述样品台的表面，本实用新型通过设置有各种透镜和光学元件的组合实现了对光束的整形，上位机软件对电动光阑的自动控制实现了光斑大小的自由控制和选择，衰减器、各透镜、分色镜和激光显微物镜联合使用对激光光束进行整形，过滤掉不必要的光，高斯光束成功整形为均匀的圆形平顶光束，整形效果较好，剥蚀量均匀。

主权项：1.一种可控激光光斑大小的光束整形系统，包括激光发生器1与样品台2，其特征在于：所述激光发生器1与样品台2之间设置有电动衰减器3、电动光阑4、聚焦透镜5以及激光显微物镜6，所述激光发生器1设置激光依次透过所述衰减器3、电动光阑4、聚焦透镜5以及激光显微物镜6并设在所述样品台2的表面。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京澳作生态仪器有限公司 一种可控激光光斑大小的光束整形系统

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