申请/专利权人：云南通威高纯晶硅有限公司

申请日：2023-09-06

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN220834787U

主分类号：B01D53/00

分类号：B01D53/00;C01B3/50;C01B33/107;B01D46/56

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权

摘要：本实用新型提供了一种多晶硅再生氢固体杂质过滤系统，涉及多晶硅技术领域。本实用新型包括顺次连通的一级换热器、二级换热器、压缩机、三级换热器、四级换热器及五级换热器，第一收集罐与一级换热器、二级换热器连通，第二收集罐与三级换热器、四级换热器及五级换热器连通，一级换热器上连通有进料主管，进料主管上连通有第一进料分管和第二进料分管，第一进料分管上设有尾气过滤器，压缩机与二级换热器之间连通有解析气过滤器。本实用新型设置的尾气过滤器将硅粉过滤，避免硅粉对系统内的管道、换热器及储罐设备造成损坏或堵塞，设置的解析气过滤器对可能存在的二氧化硅及碳粉进行过滤，避免对压缩机及后续的管道、换热器及储罐设备造成影响。

主权项：1.一种多晶硅再生氢固体杂质过滤系统，其特征在于，包括：顺次连通的一级换热器、二级换热器、压缩机、三级换热器、四级换热器及五级换热器；第一收集罐，与一级换热器、二级换热器连通；第二收集罐，与三级换热器、四级换热器及五级换热器连通；其中，所述一级换热器上连通有进料主管，所述进料主管上连通有第一进料分管和第二进料分管，所述第一进料分管上设有尾气过滤器，所述压缩机与二级换热器之间连通有解析气过滤器。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 云南通威高纯晶硅有限公司 一种多晶硅再生氢固体杂质过滤系统

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