申请/专利权人:量伙半导体设备(上海)有限公司
申请日:2023-09-20
公开(公告)日:2024-04-26
公开(公告)号:CN220856513U
主分类号:H01L21/67
分类号:H01L21/67
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.26#授权
摘要:一种半自动高温快速退火设备,包括退火炉、门板、石英支架、限位组件和底座门板设置在退火炉的侧面,石英支架安装在门板上且正对着退火炉的退火腔室,石英支架上设有限位组件,其中,所述限位组件包括盖板、联动组件和伸缩杆,盖板位于石英支架上,盖板的内壁径向等角度开设有径向孔,联动组件设置在盖板上,伸缩杆一端穿过径向孔与联动组件传动连接,另一端设有底座,联动组件用于驱动伸缩杆在盖板的径向上相互靠近或相互远离,通过控制联动组件来驱动伸缩杆带动底座移动,从而改变限位区的大小,在实际使用中可以适应不同大小尺寸的晶圆片,且调节迅速,调节结果准确。
主权项:1.一种半自动高温快速退火设备,包括退火炉1、门板2、石英支架3、限位组件4和底座5,所述门板2通过直线驱动装置设置在退火炉1的侧面,石英支架3安装在门板2上且正对着退火炉1的退火腔室,石英支架3上设有限位组件4,其特征在于:所述限位组件4包括盖板43、联动组件44和伸缩杆47,盖板43位于石英支架3上,盖板43的内壁径向等角度开设有至少三个径向孔432,至少三个联动组件44设置在盖板43上,伸缩杆47一端穿过径向孔432与联动组件44传动连接,另一端设有底座5,其中联动组件44用于驱动伸缩杆47在盖板43的径向上相互靠近或相互远离。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 量伙半导体设备(上海)有限公司 一种半自动高温快速退火设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。