申请/专利权人：四川鸿源鼎芯科技有限公司

申请日：2023-09-25

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN220855445U

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权

摘要：本实用新型属于光刻机技术领域，公开了一种手动双面同心调节平台，包括平台，平台上竖直安装有安装座，安装座上设有水平设置的支撑座和竖直设置的直线导轨，直线导轨上滑动安装有下调节机构和上调节机构，下调节机构上安装有下对位镜头，上调节机构上安装有Y轴微调平台，Y轴微调平台上安装有X轴微调平台，X轴微调平台上安装有上对位镜头，上对位镜头和下对位镜头分别位于支撑座的上下两侧，支撑座上设置有标定尺。本实用新型的手动双面同心调节平台，使用时将标定尺放在XY轴载物台上，标定尺作为基准，可以方便的调节上对位镜头和下对位镜头，使上对位镜头和下对位镜头同心。

主权项：1.一种手动双面同心调节平台，其特征在于：包括底座1，底座1上竖直安装有安装座2，安装座2上设有水平设置的支撑座4和竖直设置的直线导轨6，直线导轨6上滑动安装有下调节机构3和上调节机构7，下调节机构3上安装有下对位镜头12，上调节机构7上安装有Y轴微调平台9，Y轴微调平台9上安装有X轴微调平台10，X轴微调平台10上安装有上对位镜头8，上对位镜头8和下对位镜头12分别位于支撑座4的上下两侧，支撑座4上设置有标定尺11。

全文数据：

权利要求：

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