申请/专利权人：上海新昇半导体科技有限公司

申请日：2023-09-28

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN220852878U

主分类号：F26B9/10

分类号：F26B9/10;B08B3/04

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权

摘要：本实用新型提供一种硅片提拉支架以及干燥装置，硅片提拉支架包括：支架本体；支架本体用于承载硅片，支架本体沿垂直方向可移动，以驱动硅片脱离清洗液的液面；支架本体与硅片的连接处具有连接面，连接面与硅片之间成角度设置。如此配置，通过支架本体将硅片脱离清洗液的液面，并利用表面张力梯度将硅片表面的液体拉回液面，以实现硅片的干燥；同时，将硅片与支架本体的连接面与硅片之间成角度设置，使得被表面张力梯度拉回的液体能够自连接面顺利滑落，而不堆积在连接处，降低了在连接处形成水痕缺陷的概率，提升了干燥工艺的效率，也进一步提升了硅片的良率。

主权项：1.一种硅片提拉支架，其特征在于，包括：支架本体；所述支架本体用于承载硅片，所述支架本体沿垂直方向可移动，以驱动所述硅片脱离清洗液的液面；所述支架本体与所述硅片的连接处具有连接面，所述连接面与所述硅片之间成角度设置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海新昇半导体科技有限公司 硅片提拉支架以及干燥装置

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