申请/专利权人：深圳市原速光电科技有限公司

申请日：2023-09-07

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN220846264U

主分类号：C23C16/455

分类号：C23C16/455

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权

摘要：本实用新型公开了一种喷淋装置，包括：壳体，包括本体部和喷淋部，所述本体部设置有多个扩散腔，多个所述扩散腔围绕所述本体部的中心设置，所述本体部还设置有多个进气口，每一所述进气口连通于一个所述扩散腔，所述进气口用于让反应气体进入所述扩散腔，所述喷淋部连接于所述本体部，所述喷淋部设置有多个喷淋区域，每一所述喷淋区域和一个所述扩散腔对应，所述喷淋区域包括连通于所述扩散腔的多个喷淋口，所述喷淋口用于让所述反应气体排出所述扩散腔，属于同一所述喷淋区域的多个所述喷淋口以所述本体部的中心为圆心排列形成扇形。本实用新型的喷淋装置，能够使产生的镀膜厚度均匀。

主权项：1.喷淋装置，其特征在于，包括：壳体，包括本体部和喷淋部，所述本体部设置有多个扩散腔，多个所述扩散腔围绕所述本体部的中心设置，所述本体部还设置有多个进气口，每一所述进气口连通于一个所述扩散腔，所述进气口用于让反应气体进入所述扩散腔，所述喷淋部连接于所述本体部，所述喷淋部设置有多个喷淋区域，每一所述喷淋区域和一个所述扩散腔对应，所述喷淋区域包括连通于所述扩散腔的多个喷淋口，所述喷淋口用于让所述反应气体排出所述扩散腔，属于同一所述喷淋区域的多个所述喷淋口以所述本体部的中心为圆心排列形成扇形。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市原速光电科技有限公司 喷淋装置及镀膜设备

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