申请/专利权人：航天科工微电子系统研究院有限公司

申请日：2023-12-25

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117949086A

主分类号：G01J3/02

分类号：G01J3/02;G01J3/28

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要：本发明涉及光学设备技术领域，具体公开了一种多谱段近场光斑探测装置及探测方法，多谱段近场光斑探测装置包括设置在同一光学通路上的一级缩束系统、分光镜、反射镜、二级缩束系统、成像探测器；两束不同波长的激光束组成的入射激光，经过一级缩束系统缩束后，利用分光镜特性获得透射和反射两种不同波长的光束，再经二级缩束系统缩束后同时进入成像探测器，最终可同时获得两种不同波长的光斑；本发明并公开了具体探测方法，有效实现了多光谱近场光斑的同时探测。整个系统不仅结构设计上更加简便，功能上更加全面，空间分布上也更具优势，同时节约了制造成本。

主权项：1.一种多谱段近场光斑探测装置，其特征在于，包括设置在同一光学通路上的一级缩束系统、分光镜、反射镜、二级缩束系统、成像探测器；两束不同波长的激光束组成的入射激光，经过一级缩束系统缩束后，利用分光镜特性获得透射和反射两种不同波长的光束，再经二级缩束系统缩束后同时进入成像探测器，最终可同时获得两种不同波长的光斑。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 航天科工微电子系统研究院有限公司 一种多谱段近场光斑探测装置及探测方法

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