申请/专利权人：科磊股份有限公司

申请日：2023-03-15

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117957437A

主分类号：G01N21/88

分类号：G01N21/88;G01N21/95;G01N21/956;G06T7/00;H01L21/66;G01N21/17

优先权：["20220315 US 63/319,821","20230308 US 18/119,189"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.30#公开

摘要：本发明公开一种方法。所述方法可包含利用第一检验子系统产生样本的第一光学图像。所述第一光学图像可在第一时间区间在第一组光致发光标记正发射光致发光照明时产生。所述方法可包含利用额外检验子系统产生额外光学图像。所述额外光学图像可在额外时间区间在额外光致发光标记正发射光致发光照明时产生。所述方法可包含基于所述第一光学图像及所述额外光学图像产生累积光学图像。所述方法可包含基于所述累积光学图像确定所述光致发光标记的位置。所述方法可包含基于所述光致发光标记的所确定的所述位置确定所述样本的图案。

主权项：1.一种多元素超分辨率检验系统，其包括：检验子系统阵列，每一检验子系统包括：一或多个照明源，其经配置以利用一或多个照明束照明定位于载台上的样本，所述样本包含至少第一材料及至少第二材料，其中所述第一材料不同于所述第二材料，所述样本包含多个光致发光标记，所述多个光致发光标记经配置以选择性地结合到所述第一材料或所述第二材料中的一者以增强所述样本上的所关注特征；一组光学元件，所述一组光学元件中的至少一个光学元件经配置以将所述一或多个照明束从所述一或多个照明源独立地且选择性地引导到所述样本的所述多个光致发光标记以致使所述多个光致发光标记中的至少一个光致发光标记发射光致发光照明；及一或多个检测器，其经配置以检测由选择性地结合到所述样本的所述第一材料或所述第二材料中的一者的所述多个光致发光标记中的所述至少一个光致发光标记发射的所述光致发光照明，所述一组光学元件经配置以将所述光致发光照明从所述样本的所述第一材料或所述第二材料中的一者的所述多个光致发光标记中的所述至少一个光致发光标记选择性地引导到所述一或多个检测器，其中所述检验子系统阵列的第一检验子系统经配置以在第一时间区间产生第一照明束且将所述第一照明束引导到所述样本的包含第一组光致发光标记的第一部分以致使所述第一组光致发光标记在所述第一时间区间发射光致发光照明，所述检验子系统阵列的所述第一检验子系统经配置以在所述第一时间区间在所述第一组光致发光标记正发射光致发光照明时将所述样本的所述第一部分成像以产生第一光学图像，其中所述检验子系统阵列的一或多个额外检验子系统经配置以在一或多个额外时间区间产生额外组照明束且将所述额外组照明束引导到所述样本的包含一或多个额外组光致发光标记的一或多个额外部分以致使所述一或多个额外组光致发光标记在所述一或多个额外时间区间发射光致发光照明，所述检验子系统阵列的所述一或多个额外检验子系统经配置以在所述一或多个额外时间区间在所述一或多个额外组光致发光标记正发射光致发光照明时将所述样本的所述一或多个额外部分成像以产生一或多个额外光学图像；及控制器，其通信地耦合到所述检验子系统阵列，其中所述控制器包含一或多个处理器，所述一或多个处理器经配置以执行程序指令。从所述第一检验子系统接收所述第一光学图像；从所述一或多个额外检验子系统接收所述一或多个额外光学图像；基于所接收的所述第一光学图像及所接收的所述一或多个额外光学图像产生累积光学图像；基于所述累积光学图像确定所述多个光致发光标记的位置；及基于所述多个光致发光标记的所确定的所述位置确定所述样本的图案。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 科磊股份有限公司 多元素超分辨率光学检验系统

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