申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司

申请日：2022-10-19

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117950272A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要：本申请涉及一种曝光环境检测方法、装置、系统、计算机设备、计算机可读存储介质以及计算机程序产品。所述曝光环境检测方法，包括：获取位于目标曝光机台内的处于备用状态的光罩检测样本；控制所述目标曝光机台对所述光罩检测样本进行检测；根据所述检测结果，判断所述目标曝光机台内部环境是否异常。本申请实施例可以有效降低因曝光异常而造成的良率损失。

主权项：1.一种曝光环境检测方法，其特征在于，包括：获取位于目标曝光机台内的处于备用状态的光罩检测样本；控制所述目标曝光机台对所述光罩检测样本进行检测；根据所述检测结果，判断所述目标曝光机台内部环境是否异常。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长鑫存储技术有限公司 曝光环境检测方法、装置、系统、计算机设备和存储介质

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