申请/专利权人：细美事有限公司

申请日：2022-12-29

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117954345A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;F26B9/06;F26B25/06;F26B21/00;F26B21/14

优先权：["20221027 KR 10-2022-0139788"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要：用于达成本发明的课题的本发明的基板处理装置的一个方面aspect包括：上主体；下主体，其设置在所述上主体的下部，并通过与所述上主体的结合来形成作为超临界处理空间的基板处理区域；第一端口，其被设置为贯穿所述上主体，并向所述基板处理区域供给处理流体；第二端口，其被设置为贯穿所述下主体，并向所述基板处理区域供给所述处理流体；以及第三端口，其被设置为贯穿所述下主体，从所述基板处理区域排放所述处理流体，并包围所述第二端口。

主权项：1.一种基板处理装置，包括：上主体；下主体，其配置在所述上主体的下部，并通过与所述上主体的结合来形成作为超临界处理空间的基板处理区域；第一端口，其被设置为贯穿所述上主体，并向所述基板处理区域供给处理流体；第二端口，其被设置为贯穿所述下主体，并向所述基板处理区域供给所述处理流体；以及第三端口，其被设置为贯穿所述下主体，从所述基板处理区域排放所述处理流体，并包围所述第二端口。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 细美事有限公司 基板处理装置

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