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【发明公布】一种基于高纯石英砂的石英坩埚加工装置_江苏复高新材料科技有限公司_202410223061.8 

申请/专利权人:江苏复高新材料科技有限公司

申请日:2024-02-28

公开(公告)日:2024-04-30

公开(公告)号:CN117943362A

主分类号:B08B9/32

分类号:B08B9/32;B08B9/42;F26B23/04

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要:本发明公开了一种基于高纯石英砂的石英坩埚加工装置,涉及石英坩埚加工技术领域,包括箱体,箱体的正面铰接有箱门,箱体的中部滑动连接有抽拉板,抽拉板的中部设有转环,转环的顶端嵌设有丝网,丝网的顶部卡合有石英坩埚,石英坩埚的顶部设有夹具,转环的底端套设有外齿轮环,外齿轮环的外壁啮合有平齿轮,箱体一侧壁的中部贯穿有进水管,进水管的一端套设有连接管,连接管的外壁贯穿有多个第一喷淋嘴。本发明通过设置有一系列的结构,以减少坩埚内表面残留的杂质,从而使得坩埚清洗更加干净,省去将石英坩埚进行转移的步骤,从而降低石英坩埚表面残留的水分造成坩埚表面析出晶体的概率,更利于石英坩埚的后续加工。

主权项:1.一种基于高纯石英砂的石英坩埚加工装置,包括箱体1,其特征在于:所述箱体1的正面铰接有箱门3,所述箱体1的中部滑动连接有抽拉板4,所述抽拉板4的中部设有转环5,所述转环5的顶端嵌设有丝网14,所述丝网14的顶部卡合有石英坩埚10,所述石英坩埚10的顶部设有夹具9,所述转环5的底端套设有外齿轮环17,所述外齿轮环17的外壁啮合有平齿轮18,所述箱体1一侧壁的中部贯穿有进水管6,所述进水管6的一端套设有连接管11,所述连接管11的外壁贯穿有多个第一喷淋嘴12,所述连接管11的末端套设有第二喷淋嘴15,所述箱体1的内壁固定安装有电加热器20,所述箱体1底部的一侧贯穿有排水管7。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 江苏复高新材料科技有限公司 一种基于高纯石英砂的石英坩埚加工装置

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