申请/专利权人：北京北方华创真空技术有限公司

申请日：2024-03-07

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117947499A

主分类号：C30B15/00

分类号：C30B15/00;C30B29/06

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要：本申请涉及单晶硅生产的领域，尤其是涉及一种能够防爆及柔性引流的单晶炉，其包括：炉体，包括炉盖和炉筒，所述炉盖和所述炉筒之间为非固定连接；柔性防爆组件，用于缓冲隔离并将产生的气体排出，包括设置在所述炉盖与所述炉筒之间的柔性隔爆防护罩和与所述柔性隔爆防护罩相连通的柔性引流筒，所述柔性隔爆防护罩与所述柔性引流筒相连通；导向组件，用于引导所述炉盖的移动路径，所述导向组件分别和所述炉盖和所述炉筒均相连接；连接组件，用于分别连接所述炉盖和所述柔性隔爆防护罩以及所述炉筒和所述柔性隔爆防护罩。本申请通过一种柔性防爆泄压装置，能够实现炉体的缓冲隔离和泄压，同时有效实现人员的隔离保护。

主权项：1.一种能够防爆及柔性引流的单晶炉，其特征在于：包括：炉体1，包括炉盖11和炉筒12，所述炉盖11和所述炉筒12之间为非固定连接；柔性防爆组件2，用于缓冲隔离并将产生的气体排出，包括设置在所述炉盖11与所述炉筒12之间的柔性隔爆防护罩21和与所述柔性隔爆防护罩21相连通的柔性引流筒22，所述柔性隔爆防护罩21与所述柔性引流筒22相连通；导向组件4，用于引导所述炉盖11的移动路径，所述导向组件4分别和所述炉盖11和所述炉筒12均相连接；连接组件3，用于分别连接所述炉盖11和所述柔性隔爆防护罩21以及所述炉筒12和所述柔性隔爆防护罩21。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京北方华创真空技术有限公司 一种能够防爆及柔性引流的单晶炉

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