申请/专利权人：通威微电子有限公司

申请日：2024-03-21

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117943365A

主分类号：B08B11/00

分类号：B08B11/00;B08B1/12;B08B3/08;B08B3/02;B08B17/00;B65B55/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要：本发明提供了一种刷片包装一体机，涉及晶片处理技术领域，该刷片包装一体机包括密封清洁室、入料装置、清洁刷片装置、出料装置和包装机构，将入料装作设置在密封清洁室的一端，同时将清洁刷片装置设置在入料装置的一侧，从而实现对晶片的清洁动作，将出料装置设置在清洁刷片远离入料装置的一侧，并与清洁刷片装置连接，而包装机构设置在出料装置远离清洁刷片装置的一侧，并与出料装置连接，能够对晶片进行包装。相较于现有技术，本发明实现了刷片和包装一体化设计，保证了整体不会与外部污染源接触，同时避免了包装过程中造成晶片污染，由此避免刷片后的晶片接触到外界，避免了晶片二次污染的风险。

主权项：1.一种刷片包装一体机，其特征在于，包括：密封清洁室（110）；入料装置（120），所述入料装置（120）设置在所述密封清洁室（110）内的一端，用于延伸至所述密封清洁室（110）外并用于供晶片入料；清洁刷片装置（130），所述清洁刷片装置（130）设置在所述入料装置（120）的一侧，并与所述入料装置（120）连接，用于清洁所述晶片；出料装置（140），所述出料装置（140）设置在所述清洁刷片装置（130）远离所述入料装置（120）的一侧，并与所述清洁刷片装置（130）连接，用于输出清洁后的所述晶片；包装机构（150），所述包装机构（150）设置在所述出料装置（140）远离所述清洁刷片装置（130）的一侧，并与所述出料装置（140）连接，用于对所述晶片进行包装，并形成包装盒；其中，所述包装机构（150）具有一包装腔（151），所述包装腔（151）的顶端上设置有清洁吹气组件（160），所述清洁吹气组件（160）用于向所述晶片的表面吹清洁空气，所述包装腔（151）的底端设置有出料口（152），所述出料口（152）设置有输送管，所述输送管连接至所述密封清洁室（110）外部，且所述包装腔（151）内的气压大于所述密封清洁室（110）的外部气压。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 通威微电子有限公司 刷片包装一体机

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