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申请/专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日：2023-10-30
公开（公告）日：2024-04-30
公开（公告）号：CN117948955A
主分类号：G01C19/5656
分类号：G01C19/5656;G01C19/5649;G01C19/5663
优先权：["20221031 IT 102022000022377","20231019 US 18/490,392"]
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开
摘要：本公开涉及具有沿竖直轴线的角速度检测的微机电陀螺仪。微机电陀螺仪具有检测结构，该检测结构具有可移动结构，该可移动结构悬置在衬底上方，以便根据围绕竖直轴线的角速度来执行沿第一水平轴线的感测移动。该可移动结构具有至少一个驱动质量块，该驱动质量块在内部限定窗口，该窗口在锚定区域处通过弹性锚定元件弹性地耦合到转子锚；至少一个桥元件，该桥元件是刚性的并且由导电材料制成，悬臂式悬置并且在该窗口内沿着该第一水平轴线延伸，弹性地耦合到该驱动质量块上；可移动电极，由具有沿着第二水平轴线的延伸部的桥元件整体地承载。
主权项：1.一种微机电陀螺仪，包括：检测结构，具有衬底，所述衬底具有平行于水平面的顶表面；以及可移动结构，悬置在所述衬底上方并且被配置为在存在沿着所述水平面的第二水平轴线的驱动移动的情况下、作为围绕正交于所述水平面的竖直轴线的角速度的函数、沿着所述水平面的第一水平轴线执行感测移动，所述第二水平轴线正交于所述第一水平轴线，所述可移动结构包括：至少一个驱动质量块，所述至少一个驱动质量块在内部限定窗口并且通过弹性锚定元件弹性地耦合到转子锚，所述转子锚在锚定区域处与所述衬底成一体；至少一个桥元件，该桥元件是刚性的并且由导电材料制成，相对于所述衬底悬臂式悬置并且在所述窗口内延伸，弹性地耦合到所述驱动质量块；以及可移动电极，在所述窗口中由所述桥元件整体地承载；其中所述检测结构进一步包括定子电极，所述定子电极以与所述可移动电极交错的构造被布置在所述窗口中，所述定子电极被布置在所述桥元件下方与所述桥元件相距一定的间隔距离，所述桥元件在所述定子电极上方纵向地延伸。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 意法半导体股份有限公司 具有沿竖直轴线的角速度检测的微机电陀螺仪
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