申请/专利权人：芜湖新航薄膜科技有限公司

申请日：2024-02-26

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117778979B

主分类号：C23C14/35

分类号：C23C14/35;C23C14/56

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.30#授权;2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明提供半导体离子薄膜材料的制备装置、方法及薄膜材料，包括：真空罐，固定设置于底部基座上；稳流装置，固定设置于真空罐上方，稳流装置的气体出口通过管道与真空罐内部连通；扩散泵，固定设置于底部基座上，其气体入口与真空罐内部连通；前级真空泵，与扩散泵的气体出口通过管道连通；其特征在于，所述真空罐内部设置旋转靶体组件，用于促进目标原子与氩气充分的接触，使得靶体上的目标原子能够均匀消耗，延长的了靶体的使用寿命；通过设置稳流装置和靶体，通过靶体内部的磁铁方向始终向上，促使目标原子沉积在基板上排列更加整齐、致密，减少缺陷。

主权项：1.一种半导体离子薄膜材料的制备装置，包括：真空罐，固定设置于底部基座上；稳流装置，固定设置于真空罐上方，稳流装置的气体出口通过管道与真空罐内部连通；扩散泵，固定设置于底部基座上，其气体入口与真空罐内部连通；前级真空泵，与扩散泵的气体出口通过管道连通；其特征在于，所述真空罐内部设置旋转靶体组件，所述旋转靶体组件包括电机、环形支架、前圆盘、后圆盘、靶体以及法兰；所述环形支架周向固定设置于真空罐内壁上，所述电机通过支架固定设置于环形支架一侧；所述法兰与环形支架同轴固定设置；所述前圆盘和后圆盘同轴，且轴心处设置中心轴，中心轴两端与前圆盘和后圆盘固定连接；所述电机的转轴通过法兰和前圆盘轴心处与所述中心轴传动连接；所述前圆盘和后圆盘之间的空间设置若干个圆柱形的靶体，所述靶体的两端固定设置前短轴和后短轴，所述前短轴和后短轴均分别和前圆盘和后圆盘固定连接；所述靶体包括轴承、内筒、滑动件以及液体介质；所述靶体外部为圆柱形，内部中空，所述轴承设置于靶体内部中空部分的两端；所述内筒可沿周向转动的设置于靶体内部，其两端与轴承的内环固定连接；所述两个滑动件对称设置于内筒的内部，且滑动件的外侧与内筒的内壁可进行相对滑动，且处于密封状态；所述滑动件中间设置凹槽，用于安装固定磁铁片；磁铁片与内筒的下半部空间设置液体介质，用于在靶体旋转状态下保持磁铁片方向始终向上。

全文数据：

权利要求：

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