申请/专利权人：江苏邑文微电子科技有限公司;无锡邑文微电子科技股份有限公司

申请日：2021-12-27

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN114485170B

主分类号：F27B17/00

分类号：F27B17/00;F27D19/00;H01L21/324

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.30#授权;2023.12.19#著录事项变更;2022.05.31#实质审查的生效;2022.05.13#公开

摘要：本申请涉及一种快速退火炉加热系统以及温度控制方法。该加热系统包括载体、沿第一方向设置的主加热器、沿第一方向设置的第一辅助加热器以及沿第二方向设置的第二辅助加热器，主加热器设置有多个，多个主加热器沿第二方向间隔连接在载体的反射面上；第一辅助加热器设置有两组，两组第一辅助加热器均连接在载体的反射面上，且，两组第一辅助加热器分别设置在多个主加热器的第二方向的两侧，第二辅助加热器设置有两组，两组第二辅助加热器均连接在载体的反射面上，两组第二辅助加热器相对设置在多个主加热器和载体的反射面之间，第一方向和第二方向相垂。本申请可保证加热件的加热均匀，使加热件的温性均匀，提高产品质量。

主权项：1.一种快速退火炉加热系统，其特征在于，所述加热系统包括：载体；沿第一方向设置的主加热器，所述主加热器设置有多个，多个所述主加热器沿第二方向间隔连接在所述载体的反射面上；沿第一方向设置的第一辅助加热器，所述第一辅助加热器设置有两组，两组所述第一辅助加热器均连接在所述载体的反射面上，且，两组所述第一辅助加热器分别设置在多个所述主加热器的第二方向的两侧；沿第二方向设置的第二辅助加热器，所述第二辅助加热器设置有两组，两组所述第二辅助加热器均连接在所述载体的反射面上，两组所述第二辅助加热器相对设置在多个所述主加热器和所述载体的反射面之间；所述第一方向和所述第二方向相垂直；冷却座，所述载体装配在所述冷却座的外侧面上，所述冷却座内设置有冷却腔，所述冷却腔装配所述载体的内侧面上设置有多列水道，所述冷却座上设置有进水口以及出水口，所述进水口以及所述出水口均和多列所述水道连通；所述冷却座背离所述载体的侧面设置有进风部；所述加热系统还包括风机，所述风机安装在所述冷却座上，所述风机的出风口和所述冷却座上的进风部连通；所述进风部间隔设置有多个，所述风机也对应设置有多个，所述风机的出风口和对应的所述进风部连通；所述载体上设置有风孔，多个所述风机中的一个所述风机为抽风风机，其余所述风机为进风风机；其中，多个所述进风风机将冷却风引入到所述冷却腔内后，再通过所述载体上的风孔引入到所述载体和各个所述加热器之间，以对所述载体和所述加热器降温，再通过所述抽风风机将热交换的热风引出所述冷却。

全文数据：

权利要求：

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