申请/专利权人:新奥科技发展有限公司
申请日:2020-09-29
公开(公告)日:2024-04-30
公开(公告)号:CN114340127B
主分类号:H05H1/34
分类号:H05H1/34
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.30#授权;2022.04.29#实质审查的生效;2022.04.12#公开
摘要:本申请公开了一种等离子发生器的阴极结构、电极机构及等离子发生器。阴极结构包括第一阴极和第二阴极。第一阴极配置成以使第一阴极与阳极能够使得阳极的内部的放电介质被电离形成第一等离子弧,第一等离子弧沿阳极的轴向射出。第二阴极配置成以使第二阴极与阳极能够使得阳极的外周的放电介质被电离形成第二等离子弧,第二等离子弧环绕于第一等离子弧的外周。本申请的阴极结构使得等离子发生器可以产生第一等离子弧和第二等离子弧,使得等离子弧的作用范围得到了扩大。
主权项:1.一种等离子发生器的阴极结构,其特征在于,包括:第一阴极,配置成以使所述第一阴极与阳极能够使得所述阳极的内部的放电介质被电离形成第一等离子弧,所述第一等离子弧沿所述阳极的轴向射出;和第二阴极,配置成以使所述第二阴极与所述阳极能够使得所述阳极的外周的放电介质被电离形成第二等离子弧,所述第二等离子弧环绕于所述第一等离子弧的外周;其中,所述第一阴极为柱状,所述第一阴极的外周壁具有与所述阳极在第一阴极的径向上呈相对设置的第一激发部,所述第一激发部的外周壁的径向截面为圆形;和或所述第二阴极为中空的柱状,所述第二阴极的内周壁具有与所述阳极在第二阴极的径向上呈相对设置的第二激发部,所述第二激发部为朝所述阳极径向扩张且呈平滑过渡的喇叭状,所述第二阴极环绕在所述第一阴极的外周,所述第二激发部的径向截面为圆形;所述第一阴极的背离所述阳极的一端具有阴极冷却凹腔;所述阴极结构还包括第一阴极冷却部件,所述第一阴极冷却部件位于所述第一阴极的背离所述阳极的一侧,所述第一阴极冷却部件具有阴极冷却水中心流道和环绕在所述阴极冷却水中心流道的外部的阴极冷却水外环流道,所述第一阴极冷却部件配置成与所述第一阴极连接,所述阴极冷却水中心流道和所述阴极冷却水外环流道均分别与所述阴极冷却凹腔连通。
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权利要求:
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