申请/专利权人:常州捷佳创精密机械有限公司
申请日:2023-10-09
公开(公告)日:2024-04-30
公开(公告)号:CN220867559U
主分类号:C25D17/06
分类号:C25D17/06;C25D7/12
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.30#授权
摘要:本实用新型涉及硅片夹具领域,具体涉及一种垂直电镀硅片夹具。本实用新型实施例提供了一种垂直电镀硅片夹具,包括:承载架,所述承载架上具有装载工位,所述装载工位上适于装载硅片;所述承载架的两侧分别设置有夹持组件,所述夹持组件的夹持端延伸至所述装载工位内;其中安装时,两所述夹持组件分别与硅片的两侧抵接,以夹持硅片。通过设置导电夹爪,使得硅片安装后,通过移动导电板,即可使得导电夹爪从两侧将硅片夹紧定位给,完成装夹,而不需要额外的定位和连接过程。通过开设滑槽配合螺栓来引导导电板的滑动方向,以使导电板移动正确滑动并夹紧硅片。
主权项:1.一种垂直电镀硅片夹具,其特征在于,包括:承载架(1),所述承载架(1)上具有装载工位,所述装载工位上适于装载硅片;所述承载架(1)的两侧分别设置有两夹持组件(2),所述夹持组件(2)的夹持端延伸至所述装载工位内;其中安装时,两所述夹持组件(2)分别与硅片的两侧抵接,以夹持硅片。
全文数据:
权利要求:
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