申请/专利权人:天合光能股份有限公司;天合光能(宿迁)光电有限公司
申请日:2023-10-09
公开(公告)日:2024-04-30
公开(公告)号:CN220867558U
主分类号:C25D17/06
分类号:C25D17/06;C25D21/12;C25D17/00
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.30#授权
摘要:本实用新型属于电镀工装技术领域,具体涉及一种电镀夹具及硅片电镀系统,本电镀夹具包括:第一基体、第二基体、第一电极组件和第二电极组件;其中所述第一基体与第二基体活动相连,所述第一电极组件安装在第一基体上,所述第二电极组件安装在第二基体上;所述第一基体与第二基体适于相向移动或背向移动,以带动所述第一电极组件与第二电极组件相向移动或背向移动,进而将待电镀件夹持在所述第一电极组件与第二电极组件之间或松开待电镀件;本实用新型通过将第一电极组件安装在第一基体上及第二电极组件安装在第二基体上,能够实现自动定位、夹持待电镀件,并且通过缓冲力避免损伤待电镀件,在电镀过程中调整电镀电流、时间。
主权项:1.一种电镀夹具,其特征在于,包括:第一基体、第二基体、第一电极组件和第二电极组件;其中所述第一基体与第二基体活动相连,所述第一电极组件安装在第一基体上,所述第二电极组件安装在第二基体上;所述第一基体与第二基体适于相向移动或背向移动,以带动所述第一电极组件与第二电极组件相向移动或背向移动,进而将待电镀件夹持在所述第一电极组件与第二电极组件之间或松开待电镀件。
全文数据:
权利要求:
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