申请/专利权人：日东电工株式会社;日东精机株式会社

申请日：2023-09-19

公开（公告）日：2024-05-07

公开（公告）号：CN117995741A

主分类号：H01L21/683

分类号：H01L21/683;H01L21/67

优先权：["20221104 JP 2022-177501"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.05.07#公开

摘要：本发明提供一种能够对工件更加精度良好地粘贴粘合带的粘合带粘贴装置。对于对工件W粘贴粘合带PT的粘合带粘贴装置1，具备：保持台13，其保持工件W的被保持面Wb；腔室29，其收纳保持台13，通过利用上外壳29B和下外壳29A夹入输送用片T而将该腔室29划分成上空间H2和下空间H1；以及粘贴单元9，其在上空间H2与下空间H1之间产生压差Gs，利用该压差Gs将粘合带PT粘贴于工件W，保持台13具备：工件支承部39，其由刚体构成，支承工件W；和凹部41，其防止工件W以倾斜着的状态被保持。

主权项：1.一种粘合带粘贴装置，其是对工件粘贴粘合带的粘合带粘贴装置，其特征在于，所述粘合带粘贴装置具备：保持台，其保持所述工件中的被保持面；腔室，其具有上外壳和下外壳，收纳所述保持台；腔室划分机构，其通过利用所述上外壳和所述下外壳夹入片材而利用所述片材将所述腔室的内部空间划分成上空间和下空间；供给机构，其供给所述片材；以及粘贴机构，其在由所述片材划分成的所述上空间与所述下空间之间产生压力的差异，利用由于所述压力的差异而形成的压差将所述粘合带粘贴于所述工件，所述保持台具备：主体部，其由刚体构成，支承所述工件；和倾斜保持防止部，其防止所述工件以倾斜着的状态被保持。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 日东电工株式会社;日东精机株式会社 粘合带粘贴装置

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