申请/专利权人：哈尔滨工业大学;哈尔滨邦定科技有限责任公司

申请日：2024-01-29

公开（公告）日：2024-05-07

公开（公告）号：CN117984628A

主分类号：B32B15/20

分类号：B32B15/20;B32B9/04;B32B37/06;B32B37/08;B32B38/00;B32B15/04;B32B37/10;H01L23/15;H01L23/373;H05K5/02

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.05.07#公开

摘要：本发明涉及陶瓷材料技术领域，提供了一种高可靠性氮化铝陶瓷覆铝陶瓷基板及其制备方法和应用。本发明在氮化铝陶瓷与铝之间加入铝合金，在压力为0.1‑0.3Mpa，焊接温度为580℃‑620℃，保温时间30min的工艺参数下，实现了氮化铝陶瓷与铝的高性能键合，所获得的陶瓷基板可靠性高，经测试，陶瓷基板强度在60MPa以上。并且，本发明的焊接温度较低，在580℃至620℃的低温范围下实现了氮化铝与铝箔的有效键合，且精度较高，符合绿色节能的生产原则。此外，本发明直接将表面处理后的氮化铝陶瓷、铝合金和铝箔三层叠放好后进行热压即可，不需要对氮化铝陶瓷表面进行改性，工艺简单、成本可控，能够实现大规模批量生产。

主权项：1.一种高可靠性氮化铝陶瓷覆铝陶瓷基板的制备方法，其特征在于，包括：分别对氮化铝陶瓷和铝合金进行表面处理，得到第一氮化铝陶瓷和第一铝合金；将所述第一氮化铝陶瓷、所述第一铝合金和铝箔依次层叠放置，得到层叠体，将所述层叠体置于真空环境中加热，同时对所述层叠体施加0.3-1Mpa的压力，加热速度为5-10℃min，加热至580℃-620℃并保温30-35min，冷却后得到高可靠性氮化铝陶瓷覆铝陶瓷基板。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 哈尔滨工业大学;哈尔滨邦定科技有限责任公司 高可靠性氮化铝陶瓷覆铝陶瓷基板及其制备方法和应用

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