申请/专利权人：哈尔滨工业大学

申请日：2024-02-03

公开（公告）日：2024-05-10

公开（公告）号：CN118016567A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.28#实质审查的生效;2024.05.10#公开

摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，具体而言，涉及一种原位键合装置及方法。所述装置包括主腔室、副腔室、隔离板、压头组件、真空系统、进气系统、加压系统和等离子体系统。本发明通过在主腔室内设置可移动的隔离板，从而将主腔室分隔为两个独立腔室，由此可对两个待键合样品同时且独立的进行表面活化，一方面，原位键合避免样品在大气中的转运，提高界面质量和可重复性，且缩短表面活化至键合的间隔时间，提高生产效率，另一方面，分别活化处理实现了不同待键合样品的特异性活化，有助于提高键合质量，例如两个独立腔室分别采用不同的气体进行活化，解决了原位活化键合工艺中无法对不同的待键合样品分别进行活化的问题，提高了键合质量和键合效率。

主权项：1.一种原位键合装置，其特征在于，包括主腔室1、副腔室2、隔离板3、压头组件4、真空系统、进气系统、加压系统7和等离子体系统8，所述真空系统用于对所述主腔室1抽真空，所述进气系统用于向所述主腔室内通入活化气体，所述等离子体系统8用于对所述活化气体放电以产生等离子体，所述隔离板3用于在所述主腔室1和副腔室2之间往返，当所述隔离板3位于所述主腔室1内时，所述主腔室1被所述隔离板3分隔为两个独立腔室，所述压头组件4包括相对设置的两个压头41，两个所述压头41分别设置于两个所述独立腔室内，且两个所述压头41相对设置的一侧用于设置两个待键合样品10，所述加压系统7用于驱动两个所述压头41相压合，以将两个所述待键合样品10键合。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 哈尔滨工业大学 一种原位键合装置及方法

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