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【发明公布】一种湿度传感器的制备方法及湿度传感器_厦门大学;北京智芯微电子科技有限公司_202410155027.1 

申请/专利权人:厦门大学;北京智芯微电子科技有限公司

申请日:2024-02-02

公开(公告)日:2024-05-10

公开(公告)号:CN118010811A

主分类号:G01N27/22

分类号:G01N27/22

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.05.28#实质审查的生效;2024.05.10#公开

摘要:本发明公开了一种湿度传感器的制备方法及湿度传感器。该制备方法包括:提供一聚酰亚胺基底;采用激光对聚酰亚胺基底表面进行修饰,形成待镀基底;其中,待镀基底表面具有激光修饰电极图形;在待镀基底表面的激光修饰电极图形上定向形成金属镀层,以形成复合电极;将复合电极与金属引线连接,形成湿度传感器。本发明实施例的技术方案有利于简化湿度传感器制备工艺,降低制备成本,且可适用于大规模制造。

主权项:1.一种湿度传感器的制备方法,其特征在于,包括:提供一聚酰亚胺基底;采用激光对所述聚酰亚胺基底表面进行修饰,形成待镀基底;其中,所述待镀基底表面具有激光修饰电极图形;在所述待镀基底表面的所述激光修饰电极图形上定向形成金属镀层,以形成复合电极;将所述复合电极与金属引线连接,形成所述湿度传感器。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 厦门大学;北京智芯微电子科技有限公司 一种湿度传感器的制备方法及湿度传感器

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