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申请/专利权人：厦门大学;北京智芯微电子科技有限公司
摘要：本发明公开了一种湿度传感器的制备方法及湿度传感器。该制备方法包括：提供一聚酰亚胺基底；采用激光对聚酰亚胺基底表面进行修饰，形成待镀基底；其中，待镀基底表面具有激光修饰电极图形；在待镀基底表面的激光修饰电极图形上定向形成金属镀层，以形成复合电极；将复合电极与金属引线连接，形成湿度传感器。本发明实施例的技术方案有利于简化湿度传感器制备工艺，降低制备成本，且可适用于大规模制造。
主权项：1.一种湿度传感器的制备方法，其特征在于，包括：提供一聚酰亚胺基底；采用激光对所述聚酰亚胺基底表面进行修饰，形成待镀基底；其中，所述待镀基底表面具有激光修饰电极图形；在所述待镀基底表面的所述激光修饰电极图形上定向形成金属镀层，以形成复合电极；将所述复合电极与金属引线连接，形成所述湿度传感器。
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百度查询： 厦门大学 北京智芯微电子科技有限公司 一种湿度传感器的制备方法及湿度传感器
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