申请/专利权人：华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所)

申请日：2021-11-30

公开（公告）日：2024-05-10

公开（公告）号：CN114397478B

主分类号：G01P15/03

分类号：G01P15/03;G01P1/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.05.10#授权;2022.05.13#实质审查的生效;2022.04.26#公开

摘要：本发明涉及一种单轴差分谐振梁表头模组及加速度计，包括真空密封件和两个TO部件；真空密封件包括一两端开口的密封腔体；两个TO部件对称封装于密封腔体的两端；每一TO部件包括TO底座、谐振梁芯片、ASIC混合集成电路、吸气剂组件、吸气剂挡板、陶瓷柱和插针；该表头模组采用两个对称封装于密封腔体的两端的TO部件，形成差分模式结构，环境适应性好，全温范围内精度高；加速度计由四组独立的表头模组，通过冗余配置布局集成，相比安装三轴独立的加速度计，该方案质量和体积小，结构紧凑、精度和可靠性更高。

主权项：1.一种单轴差分谐振梁表头模组，其特征在于，包括真空密封件和两个TO部件；所述真空密封件包括一两端开口的密封腔体；两个所述TO部件对称封装于所述密封腔体的两端；每一所述TO部件包括TO底座、谐振梁芯片、ASIC混合集成电路、吸气剂组件、吸气剂挡板、陶瓷柱和插针；所述TO底座上形成有一端开口的容置腔，所述插针连接于所述TO底座上并伸入所述容置腔，所述陶瓷柱安装于所述插针外侧以保证插针和所述TO底座的绝缘，所述ASIC混合集成电路安装于所述陶瓷柱的端面，所述谐振梁芯片连接于插针的端部，且所述ASIC混合集成电路位于所述谐振梁芯片和所述容置腔的底面之间，所述吸气剂组件安装于所述TO底座且固定连接于所述ASIC混合集成电路远离所述谐振梁芯片的一侧，所述吸气剂挡板安装于所述TO底座的容置腔开口处，所述吸气剂组件和所述ASIC混合集成电路分别位于所述吸气剂挡板的两侧；两个所述TO部件具有谐振梁芯片的一端相对设置；每一所述吸气剂组件包括吸气剂、两个吸气剂引线、两个引线焊盘、两个吸气剂陶瓷柱和两个吸气剂插针，两个所述吸气剂引线分别连接于所述吸气剂的两端，所述吸气剂插针间隔安装于所述TO底座并一端伸入所述容置腔，所述吸气剂陶瓷柱安装于所述吸气剂插针外侧以保证吸气剂插针和所述TO底座的绝缘，两个吸气剂引线分别通过两个所述引线焊盘连接在两个吸气剂插针的端部；所述TO底座上形成有环形凸缘，所述环形凸缘具有用于与所述密封腔体的端面气密封接的封接端面。

全文数据：

权利要求：

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