申请/专利权人：北京晨晶电子有限公司

申请日：2021-12-03

公开（公告）日：2024-05-10

公开（公告）号：CN114279625B

主分类号：G01L21/00

分类号：G01L21/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.05.10#授权;2023.06.13#专利申请权的转移;2022.04.22#实质审查的生效;2022.04.05#公开

摘要：本发明提供一种真空度检测电路、真空度检测方法及真空计，其中，真空度检测电路包括：微处理器模块、信号驱动模块和信号检测模块，其中，所述信号检测模块的输入端与所述信号驱动模块的输出端连接，所述信号检测模块的输出端与所述微处理器模块的输入端连接，所述微处理器模块的输出端与所述信号驱动模块的输入端连接；所述信号驱动模块用于接收所述微处理器模块发出的第一载波，并将所述第一载波传输至所述信号检测模块；所述信号检测模块用于检测真空度，并将所述真空度的检测结果发送至所述微处理器模块。通过本发明的真空度检测电路，实现了通过一种具有简单结构的数字电路，即可满足对真空度测量灵敏度与信噪比的要求。

主权项：1.一种真空度检测电路，其特征在于，所述真空度检测电路包括：微处理器模块、信号驱动模块和信号检测模块，其中，所述信号检测模块的输入端与所述信号驱动模块的输出端连接，所述信号检测模块的输出端与所述微处理器模块的输入端连接，所述微处理器模块的输出端与所述信号驱动模块的输入端连接；所述信号驱动模块用于接收所述微处理器模块发出的第一载波，并将所述第一载波传输至所述信号检测模块；所述信号检测模块用于检测真空度，并将所述真空度的检测结果发送至所述微处理器模块，其中，所述信号检测模块包括真空规电容，隔直电容、第一运放电路、第二运放电路和运算放大器，其中，所述第一运放电路的负向输入端与所述真空规电容连接，所述第一运放电路的正向输入端和所述第二运放电路的正向输入端分别与所述隔直电容连接，所述第一运放电路的输出端和所述第二运放电路的输出端分别与所述运算放大器连接；所述隔直电容用于将所述第一载波划分为两路相同的第二载波，并将所述第二载波分别输入至所述第一运放电路和所述第二运放电路；所述第一运放电路和所述第二运放电路用于基于所述第二载波分别得到两路输出波形；所述运算放大器用于将所述两路输出波形进行求差放大，得到关于所述真空规电容的电容信息，其中，所述真空规电容的电容信息与所述真空度的检测结果相对应。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京晨晶电子有限公司 真空度检测电路、真空度检测方法及真空计

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