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申请/专利权人：费勉仪器科技(上海)有限公司
申请日：2023-04-14
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN220977224U
主分类号：C30B25/12
分类号：C30B25/12;C23C16/458
优先权：["20221213 CN 2022116034252"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权
摘要：本公开提供了一种真空样品驱动装置及真空系统，真空样品驱动装置，包括：驱动真空腔；样品架，位于驱动真空腔外，用于承载样品；第一驱动轴，近端设置在驱动真空腔内，远端与样品架固定连接；传动磁组件，设置在第一驱动轴近端；驱动磁组件，设置在驱动真空腔外，且与传动磁组件磁耦合，以驱动传动磁组件运动，带动第一驱动轴和样品架运动。
主权项：1.一种真空样品驱动装置，其特征在于，包括：驱动真空腔；样品架，位于所述驱动真空腔外，用于承载样品；第一驱动轴，近端设置在所述驱动真空腔内，远端与所述样品架固定连接；传动磁组件，设置在第一驱动轴近端；驱动磁组件，设置在驱动真空腔外，且与传动磁组件磁耦合，以驱动传动磁组件运动，带动第一驱动轴和样品架运动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 费勉仪器科技(上海)有限公司 真空样品驱动装置及真空系统
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