申请/专利权人：合肥御微半导体技术有限公司

申请日：2023-10-09

公开（公告）日：2024-05-10

公开（公告）号：CN220932830U

主分类号：G01N21/95

分类号：G01N21/95;G01N21/94;G01N21/01

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.05.10#授权

摘要：本实用新型公开了一种自动化掩模检测系统，包括：运动平台、导轨、机械手和检测装置；导轨、机械手和检测装置均位于运动平台；机械手包括手叉和支撑底座；导轨包括沿第一方向延伸的第一导轨和沿第二方向延伸的第二导轨；第二导轨位于第一导轨上，且第二导轨能够沿第一方向移动；机械手位于第二导轨上，且机械手能够沿第二方向移动；其中，第一方向与第二方向相交；自动化掩模检测系统还包括检测工位；机械手能够通过导轨，移动掩模版至检测工位；检测装置能够对位于检测工位的掩模版进行检测。采用上述技术方案，可有效降低成本，提高检测效率和自动化掩模检测系统的集成效率。

主权项：1.一种自动化掩模检测系统，其特征在于，用于检测掩模版；所述自动化掩模检测系统包括：运动平台、导轨、机械手和检测装置；所述导轨、所述机械手和所述检测装置均位于所述运动平台；所述机械手包括手叉和支撑底座；所述手叉用于夹取被检测的所述掩模版；所述导轨包括沿第一方向延伸的第一导轨和沿第二方向延伸的第二导轨；所述第二导轨位于所述第一导轨上，且所述第二导轨能够沿所述第一方向移动；所述机械手位于所述第二导轨上，且所述机械手能够沿所述第二方向移动；其中，所述第一方向与所述第二方向相交；所述自动化掩模检测系统还包括检测工位；所述机械手能够通过所述导轨，移动所述掩模版至所述检测工位；所述检测装置能够对位于所述检测工位的所述掩模版进行检测。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 合肥御微半导体技术有限公司 一种自动化掩模检测系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD