申请/专利权人：苏州矽行半导体技术有限公司

申请日：2023-10-17

公开（公告）日：2024-05-10

公开（公告）号：CN220933260U

主分类号：G02B7/14

分类号：G02B7/14

优先权：["20230529 CN 2023106129797"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.05.10#授权

摘要：本实用新型提供了一种物镜切换装置，属于半导体晶圆的光学量测领域，物镜切换装置包括驱动模组、物镜移动件、多个不同参数的物镜、物镜锁定环和平衡导轨模块；多个物镜通过物镜锁定环连接至物镜移动件上，物镜移动件设置在驱动模组上；多个物镜在驱动模组的驱动下随物镜移动件移动实现切换；通过本申请的物镜切换装置，可以在不增强单个物镜参数或使用范围的情况下，通过切换不同参数的物镜实现晶圆检测的物镜需求范围，降低了成本，提高了两侧范围，便于在半导体晶圆光学检测领域中推广应用。

主权项：1.一种物镜切换装置，其特征在于：装置包括驱动模组、物镜移动件10、多个不同参数的物镜20和多个物镜锁定环30；多个所述物镜20通过物镜锁定环30连接至所述物镜移动件10上，所述物镜移动件10设置在所述驱动模组上；多个所述物镜20在驱动模组的驱动下随物镜移动件10移动实现切换。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州矽行半导体技术有限公司 一种物镜切换装置

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