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申请/专利权人：三星显示有限公司
申请日：2023-11-10
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN118049923A
主分类号：G01B11/06
分类号：G01B11/06
优先权：["20221116 KR 10-2022-0153956"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.05.17#公开
摘要：提供了厚度测量装置和厚度测量方法。厚度测量装置包括布置在检查衬底上方的成像单元，检查衬底包括衬底、提供在衬底上的图案以及布置在图案上的检查层。成像单元对检查衬底进行成像以输出检查图像数据，并且数据计算单元接收检查图像数据并且根据检查图像数据计算检查层的厚度值，其中成像单元被布置成相对于检查衬底以固定角度倾斜，并且其中数据计算单元使用来自检查图像数据的图案的坐标值来计算检查层的厚度值。
主权项：1.一种厚度测量装置，包括：成像单元，所述成像单元被布置在检查衬底上方，其中，所述检查衬底包括衬底、提供在所述衬底上的图案以及布置在所述图案上的检查层，其中，所述成像单元对所述检查衬底进行成像以输出检查图像数据；以及数据计算单元，所述数据计算单元连接到所述成像单元以接收所述检查图像数据并且根据所述检查图像数据计算所述检查层的厚度值，其中，所述成像单元被布置成相对于所述检查衬底以固定角度倾斜，并且其中，所述数据计算单元使用来自所述检查图像数据的所述图案的坐标值来计算所述检查层的所述厚度值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三星显示有限公司 用于测量厚度的装置和方法
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