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申请/专利权人：创意电子股份有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司
申请日：2022-11-16
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN118053775A
主分类号：H01L21/66
分类号：H01L21/66
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开
摘要：一种晶片特性量测方法、测试装置以及非暂态计算机可读取媒体，晶片特性量测方法包含：利用测试装置输出工作电压至晶片，晶片包含多个振荡器电路，多个振荡器电路用于依据工作电压产生多个振荡信号；在测试装置输出具有第一时脉周期的系统时脉信号至晶片的情况下，利用测试装置测试晶片。在测试装置输出具有第一时脉周期的系统时脉信号至晶片的情况下，利用测试装置测试晶片包含：利用测试装置依次改变工作电压，直到晶片由正常状态变化为故障状态，以产生边界工作电压；利用测试装置记录依据边界工作电压产生的多个振荡信号作为量测数据，量测数据代表晶片对应于第一时脉周期的特性。上述方法之优点，在于能以非侵入式方法量测晶片的多种特性。
主权项：1.一种晶片特性量测方法，其特征在于，包含：利用一测试装置输出一工作电压至一晶片，其中该晶片包含多个振荡器电路，该多个振荡器电路用于依据该工作电压产生多个振荡信号；以及在该测试装置输出具有一第一时脉周期的一系统时脉信号至该晶片的情况下，利用该测试装置测试该晶片，包含：利用该测试装置依次改变该工作电压，直到该晶片由一正常状态变化为一故障状态，以产生一第一边界工作电压；以及利用该测试装置记录依据该第一边界工作电压产生的该多个振荡信号作为一第一量测数据，其中该第一量测数据代表该晶片对应于该第一时脉周期的晶片特性。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 创意电子股份有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司 晶片特性量测方法、测试装置以及非暂态计算机可读取媒体
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