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【发明公布】半导体器件_英飞凌科技德累斯顿公司_202311534097.X 

申请/专利权人:英飞凌科技德累斯顿公司

申请日:2023-11-16

公开(公告)日:2024-05-17

公开(公告)号:CN118053895A

主分类号:H01L29/06

分类号:H01L29/06;H01L27/06

优先权:["20221116 EP 22207894.1"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.05.17#公开

摘要:提供了半导体器件。在实施例中,半导体器件包括第一导电类型的半导体衬底,该半导体衬底包括第一表面。第一器件区形成在半导体衬底中并具有第一导电类型。第一器件区具有小于半导体衬底的第一表面的横向范围的横向范围。第一器件区通过隔离结构与半导体衬底电分离。隔离结构包括用与第一导电类型相反的第二导电类型掺杂的掩埋层,并且还包括第二导电类型的第一细长下沉区。第一细长下沉区从第一表面延伸到半导体衬底中,并且与掩埋层电接触。半导体器件还包括第二导电类型的击穿电压影响结构,该击穿电压影响结构布置在半导体衬底中并且横向邻近掩埋层。

主权项:1.一种半导体器件10,包括:包括第一表面12的第一导电类型的半导体衬底11;第一器件区13,形成在半导体衬底11中并且具有第一导电类型,其中第一器件区13具有小于半导体衬底11的第一表面12的横向范围的横向范围,并且通过隔离结构14与半导体衬底11电分离;其中隔离结构14包括利用与第一导电类型相反的第二导电类型来掺杂的掩埋层15,和从第一表面延伸到半导体衬底11中并且与掩埋层15电接触的第二导电类型的第一细长下沉区16;第二导电类型的击穿电压影响结构18,其布置在半导体衬底11中并且横向邻近掩埋层15。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 英飞凌科技德累斯顿公司 半导体器件

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