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申请/专利权人：微纳动力(北京)科技有限责任公司
申请日：2024-04-16
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN118045645A
主分类号：B01L3/00
分类号：B01L3/00
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开
摘要：本发明提供了一种双层光电镊芯片及其制造方法，涉及生物芯片技术领域，包括上基底和下基底，上基底和下基底之间设有若干隔离墙，相邻隔离墙之间设置有流道，上基底包括玻璃，玻璃上设置有ITO层，ITO层上设置有第二光电层，第二光电层设置于隔离墙上，下基底包括衬底，衬底上设置有第一光电层，第一光电层与隔离墙相接触。通过设置第一光电层和第二光电层，流道中的颗粒分别受到上下两边的力的作用，从而增加了入射光的转换效率，使得流道中的颗粒受力均匀，减少颗粒的移动的阻力，提高光电镊芯片性能。
主权项：1.一种双层光电镊芯片，其特征在于，包括上基底（1）和下基底（7），上基底（1）和下基底（7）之间设有若干隔离墙（5），相邻隔离墙（5）之间设置有流道（6），上基底（1）包括玻璃（2），玻璃（2）上设置有ITO层（3），ITO层（3）上设置有第二光电层（4），第二光电层（4）设置于隔离墙（5）上，下基底（7）包括衬底（9），衬底（9）上设置有第一光电层（8），第一光电层（8）与隔离墙（5）相接触。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 微纳动力(北京)科技有限责任公司 一种双层光电镊芯片及其制造方法
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