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申请/专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日：2024-04-09
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN118049487A
主分类号：F16J15/08
分类号：F16J15/08;H01S3/03;B08B5/02
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开
摘要：本申请涉及准分子激光器技术领域，本申请提供了一种金属密封圈结构，包括第一半环，第二半环和连接部；连接部将第一半环与第二半环相连；第一半环设置在第一零件的第一密封槽内；第二半环设置在第二零件的第二密封槽内。本申请还公开了一种包括金属密封圈结构的放电腔，包括金属密封圈结构，阳极，阴极，第一零件，第二零件和风机；阳极设置在阴极的下方，两者之间存在间隙；风机用于清扫阴极与阳极之间在放电过程中产生的金属氟化物颗粒；第二零件固定连接在阴极上；第一零件与第二零件贴合，并通过金属密封圈结构密封。
主权项：1.一种金属密封圈结构，其特征在于，金属密封圈整体为O形，其横截面包括第一半环，第二半环和连接部；连接部将第一半环与第二半环相连；第一半环设置在第一零件的第一密封槽内；第二半环设置在第二零件的第二密封槽内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京科益虹源光电技术有限公司 一种金属密封圈结构及放电腔和激光器
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